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SX シリーズ

バッチ式スパッタリング装置
SX シリーズ

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sx-200

バッチ式スパッタリング装置SXシリーズは、各種電子部品等の多目的実験から小・中規模生産まで幅広いニーズに対応可能なスパッタリング装置です。

特長

  • 真空排気、成膜をPCにより自動制御
  • 多元同時スパッタ可能な設計(電源増設オプション)
  • PCによるデータロギングが可能

用途

  • 研究開発
  • 小・中規模生産

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