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ミラー

スパッタリング

ロードロック式スパッタリング装置
SPH シリーズ

sph_s

車載ミラー、樹脂成型品など小型部品の生産工程の一貫自動化に対応したロードロック式スパッタリング装置です。2ステージ仕様のSPH-320/320M、4ステージ仕様のSPH-340Mをラインナップしております。