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アッシング

アッシング装置
Luminous NA シリーズ

3FPDLuminousNA1300

Luminous NAシリーズはクリティカルな次世代ウェーハプロセスからウェーハレベル実装工程まで幅広いプロセスに対応可能なウェーハサイズフリーのアッシング装置です。

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