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VFRシリーズ

大型振り子バルブ
VFRシリーズ

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VFR

アルバック独自の技術により開発された大型振り子バルブ(ゲートバルブ)です。ディスプレイ成膜装置などの大型真空装置に対応可能です。

特長

  • アルバック独自の機構
    機械的なロック機構を持たない独自のシール機構と逆圧キャンセル機構を採用
    パーティクルの発生原因となる摺動部分は極めて少ない構造
    開閉動作時・シール時の衝撃(振動)はほとんど無し
  • 優れたメンテナンス性
    装置、ポンプからバルブを外さずに、バルブケースの着脱が可能
    ケースを外した状態から、ボルトを1本外すことによって弁体ユニットの着脱が可能
  • 取付場所を選ばない設計
    VFRシリーズの取付姿勢は360度自由

用途

  • 大型ディスプレイ製造装置
  • 有機EL製造装置
  • その他真空装置のメインバルブ・仕切バルブ

仕様

型式 VFR-400 VFR-500
呼び口径 φ400mm φ500mm
接続フランジ(JIS B2290相当) VF400 VF500
開閉仕様 2位置
開閉動作原理 圧空作動式
開閉動作時間(2位置仕様) 8s 以下 12s 以下
弁板シール性能 逆圧対応
開放コンダクタンス 50000L/s 90000L/s
使用圧力範囲 1.0×10-5Pa〜0.12MPa(abs)
ベーキング許容温度(静止時) バルブボディ : 120ºC 以下
シリンダ : 80ºC 以下
動作環境温度 10〜80ºC
使用流体温度 10〜80ºC
シリンダ供給圧空圧力 0.5〜0.7MPaG
圧空供給口径 φ8管継手
メンテナンスサイクル 10万回
取付姿勢 自由
主要部品材質 バルブボディ : AC4CH-T6
弁板 : AC4CH-T6
シール部品材質 真空側 : フッ素ゴム
油脂類 Z300グリス
総質量 98kg 155kg
面間寸法 150mm 170mm

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