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ゲートバルブ

大型振り子バルブ
VFRシリーズ

VFR

アルバック独自の技術により開発された大型振り子バルブ(ゲートバルブ)です。ディスプレイ成膜装置などの大型真空装置に対応可能です。

手動型Oリング軸シール式高真空ゲートバルブ
VAHシリーズ

vah

VAHシリーズは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発された手動式高真空ゲートバルブです。コンダクタンスの調整を容易に行えます。

圧空作動型Oリング軸シール式高真空ゲートバルブ
VAPシリーズ

vap

VAPシリーズは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発された圧縮空気作動式高真空ゲートバルブです。ディスク開放時のコンダクタンスが大きく真空ポンプの排気性能等を最大限に発揮します。

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