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VUH-MVF

手動式超高真空ミニバルブ(コンフラットフランジタイプ)
VUH-MVF

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vuh-mvf

仕様

型式 VUH-MVF
接続フランジ (*1) UFC034
本体材質 バルブボディ、ボンネットフランジ、

ベローズ:オーステナイト系スレンレス鋼

ガスケット材質 ディスクシール:ポリイミド樹脂 (*2)
ベーキング許容温度 (ºC) 最高200
使用圧力範囲 (Pa) 105〜10-8
リーク量 (Pa·m3/s) <6.7×10-11 (*3)
ベローズ寿命 1万回以上
許容周囲温度 (ºC) 5〜40
作動形式 手動
注: 本カタログは、SI単位系を採用しています。非SI単位系との換算は下記のようになります。
1Pa = 7.5 x 10-3Torr
*1: ULVAC規格のステンレス鋼製ナイフエッジ型メタルシールフランジ
*2: 本バルブは溶接構造なのでディスク部のシール材は交換できません。
*3: ポリイミド樹脂の透過は仕様外です。

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