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VUHシリーズ

超高真空バルブ手動式超高真空メタルバルブ(コンフラットフランジタイプ)
VUHシリーズ

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仕様

型式 VUH- 10D VUH- 251C VUH- 401C
接続フランジ (*1) FC034 FC070
本体材質 バルブボディ、ボンネットフランジ、

ベローズ:オステナイト系ステンレス鋼

ガズケット材質 ボンネットシール:金線 ディスクシール:銅
ベーキング許容温度 (ºC) バルブ開:250 バルブ閉:200
使用圧力範囲 (Pa) 105〜10-9
リーク量 (Pa·m3/s) <1.3×10-11
許容周囲温度 5〜40
作動形式 手動
封止トルク (*2)

N・m

初期 4.9 14.7
最大 29.4 44.1
ベローズ寿命 1万回以上
室温時ノーズ寿命(参考値) (*3)(*4) (300) (350) (300)
注: 本仕様数値は、SI単位系を採用しています。非SI単位系との換算は以下のようになります。
1Pa=7.5×10-3Torr
*1: ULVACの規格のステンレス鋼ナイフェッジ型メタルシールフランジ
*2: バルブの締め付けには、トルクレンチが必要になります。
45N・m(450kg・cm)のプレセット型トルクレンチと呼び径24のソケットをご用意下さい。
*3: 寿命は、使用環境や使用経緯等の様々な不定量要素により異なります。
初期封止トルクから最大封止トルクの範囲内で経時変的に封止性能が得られなくなった場合、寿命と考えて交換が必要です。
尚、ベークアウトを行うと寿命が短くなる場合があります。
*4: ノーズの交換作業は、弊社営業所または特約店にご用命下さい。
VUH-10Dは、溶接構造となっておりノーズ交換はできません。

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