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10AIシリーズ

超高真空バルブ手動式超高真空エアインレットバルブ
10AIシリーズ

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10aivseries

仕様

型式 10AIV 10AIV-FM 10AIV-F
接続フランジ (*1) φ15 UFC034-FH UFC070-FH
本体材質 バルブボディ、ディスク:ステンレス
ガスケット材質 フッ素ゴム
ベーキング許容温度 (ºC) 最高150
使用圧力範囲 (Pa) 105〜10-8
リーク量 (Pa·m3/s) <6.7×10-11 (*2)
許容周囲温度 (ºC) 5〜40
作動形式 手動
開閉信号出力 取付不可
注1: 本カタログは、SI単位系を採用しています。非SI単位系との換算は下記のようになります。
1Pa=7.5×10-3Torr
注2: バルブの開閉動作は、最大差圧:100Pa以下で行って下さい。
*1: UFC034-FH、070-FHは、ULVAC規格のステンレス鋼ナイフエッジ型メタルシールフランジです。
*2: Oリングの透過は仕様外です。

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