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真空バルブ

アルバックの真空バルブは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発されました。L型バルブからゲートバルブまで、大気圧から超高真空まで、あらゆる領域・条件・用途向けの真空バルブをラインアップしています。

真空アングルバルブ

真空アングルバルブVLP-SA/VLP-SB/VLP-MBシリーズ

vlp-sa_vlp-sb

5/8~14inchまでのSUS製バルブです。複動シリンダタイプで軸シールはOリング/ベローズから選択できます。接続フランジもJIS-VF、ISO-KF、ISO-K、ISO-CFから選択可能です。

真空アングルバルブVLB-SA/VLB-SBシリーズ

vlb-sa_vlb-sb

5/8~2inchまでのSUS製バルブです。単動シリンダタイプで軸シールはOリング/ベローズから選択できます。接続フランジはISO-KFになります。

真空アングルバルブVLH-SB/VLH-MBシリーズ

vlh-sb

5/8~6inchまでのSUS製バルブです。手動タイプ軸シールはベローズ、接続フランジはJIS-VF、ISO-KF、ISO-K、ISO-CFから選択可能です。

真空アングルバルブVLP-Uシリーズ

vlp-u

20B~36Bまでの大口径SS製バルブです。複動シリンダで軸シールはOリング、接続フランジはJIS-VFになります。

ゲートバルブ

大型振り子バルブ
VFRシリーズ

VFR

アルバック独自の技術により開発された大型振り子バルブ(ゲートバルブ)です。ディスプレイ成膜装置などの大型真空装置に対応可能です。

手動型Oリング軸シール式高真空ゲートバルブ
VAHシリーズ

vah

VAHシリーズは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発された手動式高真空ゲートバルブです。コンダクタンスの調整を容易に行えます。

圧空作動型Oリング軸シール式高真空ゲートバルブ
VAPシリーズ

vap

VAPシリーズは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発された圧縮空気作動式高真空ゲートバルブです。ディスク開放時のコンダクタンスが大きく真空ポンプの排気性能等を最大限に発揮します。

その他のバルブ