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デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ

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utm-fw_fh

デジタル5軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。UTM-FH、UTM-FWはデジタル5軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・省エネ対応などの優位性を実現します。 FHシリーズは、高背圧・高圧縮型で、水素圧縮比を向上したライト〜ミドルプロセス用に、FWシリーズは、高域・大流量型で、高負荷プロセスやミドル〜ハードプロセス用にご利用ください。

 

特長

  • 監視・自己診断機能、通信機能を搭載し、デジタル化による集中管理システムへの対応が可能。
  • カップリングフリーシステムの搭載。1台のパワーサプライで、機種切替により登録されているポンプ本体との組合せ運転が可能。
  • スピードバリアブルシステム搭載。排気速度を25%〜100%の範囲で可変。
  • 優れた耐食表面処理を施しているため、さらなるハードプロセスに向けて特殊表面処理・内部昇温システムがオプションで対応可能。(FWシリーズ)
  • 破壊エネルギー吸収構造採用により、不具合時の装置ダメージを小さくする高安全設計。
  • CE対応

用途

  • ミドル〜ハードプロセス用メインポンプとして(FWシリーズ)
  • ライト〜ミドルプロセス用メインポンプとして(FHシリーズ)
  • 各種実験装置等の高〜超高真空排気用メインポンプとして

仕様

高域かつ大流量型 高背圧かつ高圧縮型 吸気口フランジ口径 N2排気速度(L/s)  *1  *2
- UTM-6300FH VG500 6300
UTM-3301FW UTM-3303FH VG350 3300
UTM-2300FW - VG300 2730
VG250 2230
ICF305 2110
UTM-1400FW - VG250 1490
VG200 1360
ICF253 1300
UTM-1001FW UTM-1001FH VG200 1000
ICF253 1000
UTM-800FW UTM-800FH VG150 810
ICF203 740
UTM-480FW UTM-480FH VG150 480
ICF203 480
UTM-350FW UTM-350FH VG100 350
ICF152 330
*1 JVIS005規格による計測値、またはその計測値にもとづく計算値
*2 保護金網無しの値

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