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コントローラ一体型ターボ分子ポンプ

コントローラ一体型ターボ分子ポンプ

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utm1600A

磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。 ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しました。

特長

■ポンプ本体とコントローラが一体
  ポンプ本体とコントローラ間の面倒な配線引回し作業が不要です。
■自由な取付方向
  取付方向に制限が無い為、装置設計の自由度が広がります。
■排気速度1000L/s~4000L/sクラスをラインナップ。
■ライトプロセス向けの広域大流量設計
■ポンプ回転数を25~100%の範囲で可変
  回転数を可変させることができ、チャンバーの圧力調整ができます。
  ■高い耐久性と安全性
  大気突入試験、タッチダウン試験など、各種安全性確認試験をクリアしています

用途

■各種装置の真空主排気系
  ・半導体製造装置
  ・蒸着装置
  ・スパッタリング装置
  ・分析装置
  ・実験装置など
  ・研究開発設備
■副反応生成物が発生しないライトプロセスの主排気系
■油拡散ポンプ搭載装置からの置き換え
■その他、高真空排気用途全般

仕様

utme

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