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ターボ分子ポンプ

ターボ分子ポンプは、分子流領域において排気速度が一定で、連続したガス排気が可能です。また、再生作業などの保守の必要が無く、水素・ヘリウムに対して高い排気性能を実現します。

コントローラ一体型ターボ分子ポンプ

utm1600A

磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。 ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しました。

セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプ
UTM300B

UTM300B

セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。
優れた高背圧特性により補助ポンプの小型化も可能になりました。

ピボット軸受型ターボ分子ポンプ
UTM シリーズ

utm

ULVACターボ分子ポンプUTMシリーズは、一般的なベアリング軸受とは異なる高性能軸受を採用し、優れた特長を持っています。

 

ターボ分子ポンプ排気ユニット
YTP シリーズ

ytp

YTPシリーズは、ULVACターボ分子ポンプ(UTMシリーズ)、ロータリーポンプ、フォアバルブ、ピラニ真空計と制御系から構成される簡易型の高真空排気ユニットです。大気圧から高真空まで本製品1台で排気できます。

 

デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ
UTM-FH/FW シリーズ

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デジタル5軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。UTM-FH、UTM-FWはデジタル5軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・省エネ対応などの優位性を実現します。 FHシリーズは、高背圧・高圧縮型で、水素圧縮比を向上したライト〜ミドルプロセス用に、FWシリーズは、高域・大流量型で、高負荷プロセスやミドル〜ハードプロセス用にご利用ください。

 

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