Top > コンポーネント > 真空ポンプ > ターボ分子ポンプ >

ターボ分子ポンプ

ターボ分子ポンプは、分子流領域において排気速度が一定で、連続したガス排気が可能です。また、再生作業などの保守の必要が無く、水素・ヘリウムに対して高い排気性能を実現します。

セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプ UTM70B

UTM70B_240

セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化に より省スペースを実現。優れた高背圧特性により補助ポンプの小型化も可能になりました。

ターボ分子ポンプ排気ユニット Desktop YTP

YTP_240

セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプを搭載した、デスクトップ型の高真空排気ユニットです。 デスクトップでの使用環境に配慮し、動作時の運転音、振動を低減しました。また、機器操作にはタッチパネルを採用し、分かり易い表示アイコンでシンプル操作が可能です。

コントローラ一体型ターボ分子ポンプ
UTM-MIシリーズ

utm1600A

磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。 ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しました。

セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプ UTM300B

UTM300B

セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。
優れた高背圧特性により補助ポンプの小型化も可能になりました。

ターボ分子ポンプ排気ユニット YTPシリーズ Ver.B

240ytpb

YTPシリーズ Ver.Bは、セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプを搭載した高真空排気ユニットです。大気圧から高真空までの排気が可能です。START/STOPスイッチで自動で排気可能なSAタイプと、手動操作のMタイプをラインアップしています。また、補助ポンプは、ロータリーポンプを標準仕様とし、ドライスクロールポンプのドライ仕様も選択可能です。

デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ

utm-fw_fh

デジタル5軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。UTM-FH、UTM-FWはデジタル5軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・省エネ対応などの優位性を実現します。 FHシリーズは、高背圧・高圧縮型で、水素圧縮比を向上したライト〜ミドルプロセス用に、FWシリーズは、高域・大流量型で、高負荷プロセスやミドル〜ハードプロセス用にご利用ください。

 

▲Return to Top