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ターボ分子ポンプ セレクションガイド

アルバックのターボ分子ポンプは、研究・開発・生産用途に適した幅広いラインナップがあります。使用目的・用途・アプリケーションからお選びいただけます。

高圧縮・高背圧タイプ     連続運転最大圧力及び連続運転最大流量に優れたタイプ

 

高圧縮・高背圧型 :背圧が変動しても吸気口圧力が変動しにくいため、フォアポンプの小型化が可能です。スパッタリング、蒸着や反応副生成物の無いライト~ミドルプロセス用メインポンプに向いています。



排気速度 吸気口 到達圧力 軸受 冷却方式
m3/h ~50 ~200 ~350 ~550 ~800 ~1000 ~1500 ~2700 ~3300
6300
Pa Torr mbar ピボット軸受+
永久磁石軸受
デジタル5軸制御磁気軸受 空冷 水冷
cfm ~30 ~120 ~210 ~330 ~480 ~600 ~890 ~1600 ~1950
3710
UTM-350FH VG100
ICF152
10-8 10-10 10-10
UTM-480FH VG150
ICF203
UTM-800FH VG150
ICF203
UTM-1001FH VG200
ICF253
UTM-3303FH VG350
UTM-6300FH VG500

 

連続運転最大圧力及び連続運転最大流量に優れており、反応副生成物付着環境などのミドル~ハードプロセスや広域・大流量排気などの高負荷プロセスに向いています。
オプションの内部昇温システムにより昇華性ガスの排気も可能です。



排気速度 吸気口 到達圧力 軸受 冷却方式
m3/h ~50 ~200 ~350 ~550 ~800 ~1000 ~1500 ~2700
3300

~6300

Pa Torr mbar ピボット軸受+
永久磁石軸受
デジタル5軸制御磁気軸受 空冷 水冷
cfm ~30 ~120 ~210 ~330 ~480 ~600 ~890 ~1600 ~1950
3710
UTM-350FW VG100
ICF152
10-7 10-9 10-9
UTM-480FW VG150
ICF203
UTM-800FW VG150
ICF203
UTM-1001FW VG200
ICF253
UTM-1400FW VG250
VG200
ICF253
10-8 10-10 10-10
UTM-2300FW VG300
VG250
ICF305
10-7 10-9 10-9
UTM-3301FW VG350