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GGT-3/PGTシリーズ

チタンゲッタポンプ
GGT-3/PGTシリーズ

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GGT3_PGT

チタンゲッタポンプ(GGT-3、PGT シリーズ)は、チタン合金を真空中で直接通電してチタンを昇華させるためのユニットです。 昇華したチタンは周囲の壁面に大量の活性金属表面を作り、化学的に活性なガス(H2、N2、O2、H2O、CO、CO2)を吸着排気します。 チタンの活性金属表面は、不活性ガス(He、Ne、Ar、CH4、C2H6、その他有機ガス)に対しては吸着能力を持たないので、 ターボ分子ポンプやスパッタイオンポンプなどと組み合わせて使用します。

特長

  • システムの設計に合わせて昇華したチタンの吸着面積を選べば、大きな排気速度が得られ到達圧力性能も向上します。
  • T接続フランジ部にはナイフエッジ型メタルシール(UFC)で、最高250℃までのベークアウトが可能です。
  • 構成材料は全て超高真空に適した表面処理が施されています。

用途

  • 超高真空の排気系
  • 各種成膜装置(蒸着・スパッタリングなど)において、高真空ポンプの到達圧力向上のための補助ポンプとして
  • 各種実験・研究用装置において、高真空ポンプの到達圧力向上のための補助ポンプとして

仕様

型式
PGT-3F
PGT-6F
排気速度 *1
24m3/(s·m2) <20ºC> / 64m3/(s·m2) <-196ºC>
使用圧力範囲
10-1 to 10-9Pa程度の超高真空領域
排気可能ガス
H2, N2, O2, H2O, CO, CO2
排気不可能ガス
He, Ne, Ar, CH4, C2H6 , その他有機ガス
リーク量
1.3 x 10-11Pa·m3/s以下
ベーキング温度
250ºC
所要電力
270W
フィラメント材質
チタン合金
フィラメント寿命
定格連続運転 *2:約75時間、連続通電:約25時間
フィラメント本数
3本
6本
接続フランジ *3
UFC070-FH
UFC114-FH
質量
1.0kg
2.5kg
組合せ電源型式
GGT-3
*1 超高真空圧力領域、20ºC, N2における計算値です。
*2 270Wで30秒通電、60秒休止
*3

ULVAC規格のステンレス鋼製ナイフエッジ型メタルシールフランジ(ICF相当)

型式
GGT-3
出力 AC0〜6V可変、最大60A
制御方法 タイマーによるON/OFF制御
タイマー設定時間範囲 0.05秒〜300時間(ON/OFF共)
出力表示 出力電流表示
出力表示目盛 アナログ表示/60Aフルスケール
インタ-ロック入力 1点
許容周囲温度 5〜40℃
入力電圧・周波数 単相AC200V〜220V、50/60Hz切替え
入力電流 最大3.5A
質量 12kg

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