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チタンゲッタポンプ

チタンゲッタポンプは、チタンのゲッター作用を用いて排気を行い超高真空を生成することのできる真空ポンプです。イオンポンプと併用することで極高真空が得られます。

チタンゲッタポンプ
GGT-3, PGT シリーズ

GGT3_PGT

チタンゲッタポンプ(GGT-3、PGT シリーズ)は、チタン合金を真空中で直接通電してチタンを昇華させるためのユニットです。 昇華したチタンは周囲の壁面に大量の活性金属表面を作り、化学的に活性なガス(H2、N2、O2、H2O、CO、CO2)を吸着排気します。 チタンの活性金属表面は、不活性ガス(He、Ne、Ar、CH4、C2H6、その他有機ガス)に対しては吸着能力を持たないので、 ターボ分子ポンプやスパッタイオンポンプなどと組み合わせて使用します。

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