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油拡散エゼクタポンプ ULKシリーズ

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ULVACのULK型油拡散ポンプは、小型で臨界背圧を大きく設計している高真空排気ポンプです。研究用途から製造ラインまで幅広く活用されています。

特長

  • 臨界背圧を大きく設計しています。
  • 〜10-2 Pa (10-4 torr)台で性能が、非常に安定しています。
  • ルーズフランジ方式が採用されています。(ULK-04A、06Aの排気口フランジは除く)
  • ポンプの洗浄が容易にできます。(部品の分解が容易にできます)
  • 補助ポンプ側への作動液の流出防止機構を備えています。

仕様

データダウンロード

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