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油拡散エゼクタポンプ PBLシリーズ

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PBL

ULVACのPBL型油拡散エゼクタポンプは、長年の研究・豊富な製作経験を活かして、設計・製作されています。数多くの高真空生産設備に使用されて、その実用性能を高く評価されています。

特長

  • 10-1Pa台で排気速度が最大です。
  • PBL-02〜PBL-04型は本体(シリンダ)にステンレス鋼を使用しています。したがってアウトガスが少なく、高真空が得やすく、耐食性にすぐれています。
  • 横型エゼクタポンプに比べ作動範囲は、約一桁低圧側にずれますが、同じ口径での排気速度ははるかに大きく、また排気速度特性もすぐれています。油回転真空ポンプ、メカニカルブースタポンプと油拡散ポンプの中間圧力で使用するのに効率がよいうえ、据付面積も小さく、最適のポンプです。
  • PBL-06〜PBL-20型の大型ポンプはパイプヒータを直接作動油中に入れているので、特に熱効率がすぐれています。

仕様

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