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油拡散ポンプ

油拡散ポンプは、構造が比較的単純でメンテナンス性、保守性に優れていると同時に、大きな排気速度が得られます。単独での使用はできず、必ずフォアポンプとして油回転真空ポンプなどの併用が必要です。

油拡散ポンプ
ULK シリーズ

ulkseries

ULVACのULK型油拡散ポンプは、長年の研究・豊富な製作経験を活かして設計・製作されています。小型で臨界背圧を大きく設計している高真空排気ポンプです。

油拡散ポンプ
PFLシリーズ

PFL

ULVACのPFL型油拡散ポンプは、長年の研究・豊富な製作経験を活かして、設計・製作されています。数多くの高真空生産設備に使用されて、その実用性能を高く評価されています。

油拡散エゼクタポンプ
PBLシリーズ

PBL

ULVACのPBL型油拡散エゼクタポンプは、長年の研究・豊富な製作経験を活かして、設計・製作されています。数多くの高真空生産設備に使用されて、その実用性能を高く評価されています。

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