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メカニカルブースター ポンプ

メカニカルブースターポンプは、油回転ポンプやドライポンプなどの粗引きポンプと組み合わせることにより、粗引きポンプの排気速度が落ち込む圧力領域において排気速度を大幅にアップさせることができます。

メカニカルブースターポンプ
PMB シリーズ Ver. D

PMB

PMBシリーズVer.Dはマルチ電圧モータ(高効率モータ)も選択できる汎用型のメカニカルブースターポンプです。オプションで空冷での運転が可能な他、表面処理や大気圧駆動型も選べます。

メカニカルブースターポンプ
PRCシリーズ

PRCseries

メカニカルブースターポンプはドライポンプ、油回転真空ポンプ、水封ポンプなどと組み合わせて使用することにより、粗引ポンプの排気速度が低下する10kPa ~ 0.1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。
PRC シリーズは特にクリーン度を要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたメカニカルブースターポンプです。オプションで大気圧駆動型も選べます。

メカニカルブースターポンプ
PMB-C

PMB-040C

メカニカルブースタポンプは、ドライポンプ、油回転真空ポンプ、水封ポンプと組み合わせて使用することにより、粗引ポンプの排気速度が低下する10,000〜0.1Paの領域で排気速度をアップすることが可能です。

メカニカルブースターポンプ用架台ユニット
YMVシリーズ

ymv

YMVシリーズは、メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせる為の架台ユニットです。ポンプ排気量に合わせて4種類の架台ユニットを用意しました。 ポンプのメンテナンス性を重視した独立架台設計となっており、生産設備でのご利用に最適です。

注意:メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプは別手配となります。

 

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