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PST-200CX2/200AX2

アクターポンプ
PST-200CX2/200AX2

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PST200

スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。広く分析機器、加速器等に使用されています。ULVACは、スパッタイオンポンプで
10-10Pa台の極・超高真空を単体で生成出来るポンプとして、極・超高真空領域での排気特性を強化した新型素子(アクター素子)の開発と磁場の最適化を図ることにより『アクターポンプ』を開発しました。

特長

  • 極・超高真空対応。ISO規格のテストドームをつけて10-10Pa台の到達圧力を実現。
  • 希ガス排気強化型(AXⅡ型)はアルゴンに対し2倍の排気性能を実現。(当社比)
  • 超高真空領域において大きな排気速度を実現。
  • 短時間で超高真空領域まで排気可能。
  • 極・超高真空領域における優れた起動特性。(放電が超高真空領域まで持続)

用途

  • 加速器
  • 電子顕微鏡
  • 分析機器

仕様

排気速度(再生排気速度)
1×10-7Pa時
N2 0.20m3/s(CX2・AX2)
Ar: 0.02m3/s(CX2)
0.105m3/s(AX2)
到達圧力 10-10Pa台
動作圧力 <3.8×10-3Pa(推奨値)
(最大動作圧力1×10-3Pa)
*GST-07Lコントローラ使用時
内容積 約0.011m3
ポンプ素子数 CX2型セル×2式・AX2型セル×2式
接続フランジ型式 UFC203
印加電圧 DC+7.5kV
標準ベークアウト温度 250°C
質量 約65kg (ヒーター・カバー付)
外形寸法 W×D×H 296×361×376 mm
ヒータユニット所要電力 単相200V 約600W

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