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スパッタイオンポンプ

イオン真空ポンプは、陽極と陰極で構成されたポンプセルに電場を印加する簡単な動作原理のため、機械的振動や騒音なく超・極高真空を得られます。また、完全オイルフリーで取り付け方法を選びません。

アクターポンプ
PST-030CU/AU

PST30

スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。広く分析機器、加速器等に使用されています。ULVACは、極・超高真空領域での排気特性を強化した新型素子(アクター素子)の開発と磁場の最適化を図ることにより『アクターポンプ』を開発しました。

アクターポンプ
PST-050CU/AU

PST50

スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。広く分析機器、加速器等に使用されています。ULVACは、極・超高真空領域での排気特性を強化した新型素子(アクター素子)の開発と磁場の最適化を図ることにより『アクターポンプ』を開発しました。

アクターポンプ
PST-100CX/100AX

PST100

スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。広く分析機器、加速器等に使用されています。ULVACは、極・超高真空領域での排気特性を強化した新型素子(アクター素子)の開発と磁場の最適化を図ることにより『アクターポンプ』を開発しました。

アクターポンプ
PST-200CX2/200AX2

PST200

スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。広く分析機器、加速器等に使用されています。ULVACは、スパッタイオンポンプで
10-10Pa台の極・超高真空を単体で生成出来るポンプとして、極・超高真空領域での排気特性を強化した新型素子(アクター素子)の開発と磁場の最適化を図ることにより『アクターポンプ』を開発しました。

アクターポンプ
PST-400CX2/400AX2

PST400

スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。広く分析機器、加速器等に使用されています。ULVACは、スパッタイオンポンプで
10-10Pa台の極・超高真空を単体で生成出来るポンプとして、極・超高真空領域での排気特性を強化した新型素子(アクター素子)の開発と磁場の最適化を図ることにより『アクターポンプ』を開発しました。

イオンポンプコントロール
GST-07L-B

GST

GST-07L-Bは、ULVACがこれまで培ってきた超高真空分野での豊富な技術力と実績により高機能・高信頼性を実現したスパッタイオンポンプコントロールです。

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