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ドライ真空ポンプ

ドライポンプは油や液体を真空室内に使用しない真空ポンプのため、クリーンな真空が得られます。大気圧から到達圧力までの広範囲で使用可能です。

ドライ真空ポンプ
CRシリーズVer.B

CR

ドライ真空ポンプCRシリーズVerBは、国際規格(CE,cTUVus)を取得した空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。排気室内には油を使用しておらず、ロータとシリンダーは非接触で運転されるため長期間安定した運転が可能です。

ドライ真空ポンプ
GR シリーズ

GR90

ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HR シリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。

ドライ真空ポンプ
LR/HR/UR シリーズ

LR180

ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、エッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCKとのコンビネーションで最大約80%の消費電力カットが可能です。 また,メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE対応可能(オプション)としました。 ECO-SHOCKについての詳細は、関連情報からご覧になれます。

ドライ真空ポンプ省電力化アタッチメント
ECO-SHOCK ES10

eco-shock

ECO-SHOCK(エコショック)は、現在ご使用のドライ真空ポンプに取り付けることによって、ドライポンプの大幅な省エネを可能にする画期的なアタッチメントです。

ドライポンプ省電力化アタッチメント
ECO-SHOCK ES4A

ecoshock_es4a

ECO-SHOCKは、ドライポンプに取り付けることによって消費電力を大幅に低減するアタッチメントです。
ES4Aは、仕込取出し室の頻繁な繰り返し排気に使用する用途やターボ分子ポンプのバックのように到達圧力運転時間の長いドライポンプの電力削減に最適です。

特許登録済(日本、中国、台湾、韓国、シンガポール)

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