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ドライ真空ポンプ セレクションガイド

アルバックのドライポンプは、研究・開発・生産用途に適したハードプロセス対応モデルからライトプロセスモデルまで幅広いラインナップがあります。使用目的・用途・アプリケーションからお選びいただけます。

空冷式小型ドライポンプ   一般産業向けドライポンプ

低温均熱化モデル          高温均熱化モデル    HR型をさらに高温にしたモデル

空冷式小型ドライポンプ

型式 最大排気速度 到達圧力 冷却方式
m3/h ∼20 ∼30 ∼60 ∼100 ∼200 ∼300 ∼450 ∼600 ∼1200 ∼1800 ∼3600 Pa Toll mbar 空冷 水冷
cfm ∼12 ∼18 ∼36 ∼59 ∼118 ∼177 ∼265 ∼354 ∼703 ∼1060 ∼2119
CR16B 3.0 2.0E-2 3.0E-2
CR30B
CR60B
CR300B 5.0E-1 4.0E-3 5.0E-3

一般産業向けドライポンプ

型式 最大排気速度 到達圧力 冷却方式
m3/h ∼20 ∼30 ∼60 ∼100 ∼200 ∼300 ∼450 ∼600 ∼1200 ∼1800 ∼3600 Pa Toll mbar 空冷 水冷
cfm ∼12 ∼18 ∼36 ∼59 ∼118 ∼177 ∼265 ∼354 ∼703 ∼1060 ∼2119
GR60A 5.0 3.7E-2 5.0E-2
GR90A
GR180A

低温均熱化モデル

型式 最大排気速度 到達圧力 冷却方式
m3/h ∼20 ∼30 ∼60 ∼100 ∼200 ∼300 ∼450 ∼600 ∼1200 ∼1800 ∼3600 Pa Toll mbar 空冷 水冷
cfm ∼12 ∼18 ∼36 ∼59 ∼118 ∼177 ∼265 ∼354 ∼703 ∼1060 ∼2119
LR60 5.0 3.7E-2 5.0E-2
LR90
LR180
LR421
LR300 6.7E-1 5.0E-3 6.7E-3
LR600
LR1200
LR1800
LR3601

高温均熱化モデル

型式 最大排気速度 到達圧力 冷却方式
m3/h ∼20 ∼30 ∼60 ∼100 ∼200 ∼300 ∼450 ∼600 ∼1200 ∼1800 ∼3600 Pa Toll mbar 空冷 水冷
cfm ∼12 ∼18 ∼36 ∼59 ∼118 ∼177 ∼265 ∼354 ∼703 ∼1060 ∼2119
HR60 5.0 3.7E-2 5.0E-2
HR90
HR300 6.7E-1 5.0E-3 6.7E-3
HR600
HR1200

HR型をさらに高温にしたモデル

型式 最大排気速度 到達圧力 冷却方式
m3/h ∼20 ∼30 ∼60 ∼100 ∼200 ∼300 ∼450 ∼600 ∼1200 ∼1800 ∼3600 Pa Toll mbar 空冷 水冷
cfm ∼12 ∼18 ∼36 ∼59 ∼118 ∼177 ∼265 ∼354 ∼703 ∼1060 ∼2119
UR421-T 5.0 3.7E-2 5.0E-2
UR600 6.7E-1 5.0E-3 6.7E-3
UR1200
UR1800
UR3601-TT