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クライオポンプ

クライオポンプは、気体分子を極低温面で凝縮、吸着させることにより、すべての気体を排気することができます(特に水分の排気能力が高い)。真空容器内で動作するものが無く、油を使用しないためクリーンな真空が得られ、吸着方式のポンプにもかかわらず排気速度が大きいことが特長です。

Cryo Pump

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