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トランスデューサ型G-TRANシリーズ

真空計G-TRANシリーズ マルチイオンゲージ
ST2-1/ST2-2

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高真空下の測定において、真空計の精度(感度のばらつき、誤差など)や短寿命(測定子の汚れ、放電し難いなど)でお困りではありませんか?ULVACはこの様なご要望に応えるため、真空計にとって厳しい環境でもより長く、しかも精度よく測定可能な電離真空計を開発・製品化しました。この世界初の三極管型メタル電離真空計は、ランニングコストを大幅に抑え、さらに各種プロセスの歩留まり向上においても、お役立て頂けるものとなっております。

ST2

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G-TRANシリーズ SAU
圧力センサユニット

SAU 切り抜き240

大気圧近傍(ゲージ圧:-100kPa~10kPa)を精度よく測定可能な半導体型薄膜素子採用の圧力センサユニットになります。高真空下での連続運転にも対応可能とするために内表面の材質は、SUS316Lを採用しております。

セラミックキャパシタンス
マノメータ CCMT-Dシリーズ

CCMT-D

CCMT-Dシリーズは、セラミックでできた隔膜が気体の圧力変化により変形し、それに伴い変化する静電容量から圧力を検出するキャパシタンスマノメータです。センサ部はセラミックによる一体構造ですので、優れた再現性、安定性を備えており、低・中真空領域の圧力をガスの種類に関係なく(絶対圧真空計)、精度良く測定出来ます。

G-TRANシリーズ

gtran_series

G-TRANシリーズは、各種装置におけるプロセス制御の集中化ならびに小型化むけて、(1)装置のコストダウン、(2)省スペース化、(3)省配線化をコンセプトに開発された真空計です。センサユニットと、ディスプレイユニットの基本ユニットで構成され、用途に合わせて組み合わせが可能です。

G-TRANシリーズ マルチイオンゲージ
SH2-1/SH2-2

G-TRAN Series Multi Ionization Gauge SH2-1_SH2-2

ULVAC は、異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型『G-TRAN シリーズ マルチイオンゲージ』(特許申請中)を開発、製品化しました。従来方式の複数の原理を一つの匡体に組み合わせた複合的な真空計では、「1つの測定子の故障で測定子の全交換が必要」「測定子が複雑で故障しやすい」「測定子が高価」などのお客様の声をよく耳にします。この新方式であれば、広帯域測定を可能としながら、ランニングコストも大幅に抑え、低環境負荷の対応となります。

G-TRANシリーズ
大気圧ピラニ真空計 SW1

SW1_2

大気圧から5×10-2Paまでの広領域の測定が可能なピラニ真空計です。従来のコントローラから操作・表示部を取り除き、必要最低限の機能に絞り込み、コスト低減や省スペース化を可能としました。

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G-TRAN 1チャンネルディスプレイユニット ISG1

G-TRAN-ISG1-DIN

本ディスプレイは、G-TRAN 全シリーズの真空計、およびCCMシリーズ対応の1チャンネルディスプレイです。測定ユニットと接続することにより、圧力表示や圧力接点の設定、各種操作が手軽に行え、動作状況も一目でわかります。ディスプレイユニットを介して、リモート操作による制御、測定が可能です。

G-TRANシリーズ
4チャンネルディスプレイユニット
IM1R1/IM2R1

g-tran_4chdisplay

4チャンネルディスプレイユニットは、最大4台まで測定ユニットを接続、同時計測・表示が可能です。
8点のセットポイント出力、I/O・通信制御機能を標準装備します。 大気圧ピラニゲージまたはピラニゲージとイオンゲージの連動機能により、簡単に広範囲の圧力計測が可能です。

G-TRANシリーズ
コールドカソードゲージ

G-Tran Series Cold Cathode Gauge Measuring Units SC1

G-TRAN シリーズの逆マグネトロン型コールドカソードゲージです。フィラメントを使用しないため、の消耗、破損の心配がありません。また、メンテナンスが容易な構造となっていますので、ランニングコストの低減が可能です。

G-TRANシリーズ
ピラニゲージ

gtran_pirani

センサユニット(SP1)は、G-TRANシリーズのピラニゲージ型の計測ユニットです。センサユニットは、「測定子と回路部が一体型(測定子の交換可能)」の構造となっており、コストダウンや省スペース化に適した真空計となっております。

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