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ST2-1/ST2-2

真空計G-TRANシリーズ マルチイオンゲージ
ST2-1/ST2-2

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st2

高真空下の測定において、真空計の精度(感度のばらつき、誤差など)や短寿命(測定子の汚れ、放電し難いなど)でお困りではありませんか?ULVACはこの様なご要望に応えるため、真空計にとって厳しい環境でもより長く、しかも精度よく測定可能な電離真空計を開発・製品化しました。この世界初の三極管型メタル電離真空計は、ランニングコストを大幅に抑え、さらに各種プロセスの歩留まり向上においても、お役立て頂けるものとなっております。

ST2

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特長

  • 世界初の三極管型メタル電離真空計(特許申請中)
    真空計にとって厳しい環境下であっても三極管型の利点を最大限に生かした長寿命を実現
  • 測定精度の向上
    測定精度±10%を実現、感度の安定性も向上
  • 測定子が小型・メタル製
    ガラスタイプの様な破損の心配はありません
  • 広帯域測定
    大気圧から高真空領域(10+5Pa~10-5Pa)の測定が可能(SPU・SAU同時使用の場合)
  • 異なる測定範囲の測定子が接続可能
    マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能
  • 正確な大気圧測定
    大気圧確認が容易にかつ正確に可能(SAUを使用した場合)
  • 低環境負荷対応
    必要に応じた測定子のみの交換が可能なためランニングコストの低減が可能
  • フィラメントの寿命お知らせ機能
    フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能
  • 視認性の向上
    真空計の状態確認が一目でわかるLEDの搭載
  • メンテナンス性
    測定子の交換が容易
  • 適合規格
    CE標準対応
  • 用途

  • 有機EL・タッチパネルなどの製造装置の到達圧力確認およびプロセス管理用に真空炉など各種産業用真空装置の到達圧力確認用に
  • ハイドロカーボン(油系)が多い雰囲気での測定に
  • 真空部品加工時の切削油や洗浄液が残存している雰囲気での測定に
  • 真空計測定子の交換頻度の低減を目指したい真空装置用に
  • ※腐食性ガス(ハロゲンガス)雰囲気でのご使用の場合はご相談下さい。

    仕様

    型式 ST2-1 ST2-2
    機種名 標準タイプ 通信タイプ
    接続可能センサ マルチイオンイオンゲージセンサ : 1本
    ピラニゲージSPU : 1本(オプション)
    圧力センサユニットSAU : 1本(オプション)
    測定圧力範囲 1×10-5 ~ 1×10+1Pa
    測定精度 1×10-4 ~ 3Pa : ±10%
    繰返精度 1×10-4 ~ 3Pa : ±2%
    サンプリング時間 50ms 5回の移動平均処理
    測定値出力 出力電圧 DC 0 ~ 10V LOG出力 0.75V/1桁
    圧力換算式 V=7.25+0.75*(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
    *セットポイント調整用の出力電圧も兼ねます(ST2-1のみ)
    更新時間 50msec
    制御入力信号 FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF
    オープンコレクタ入力で動作、負論理
    制御出力信号 センサエラー、セットポイント1/2/3、エミッションバリッド、
    フィラメント電力監視
    定格:24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V
    シリアル通信仕様 RS232C/RS-485
    LED表示 POWER/ERROR: パワー、エラーLED
    FIL: B-Aゲージ フィラメントなど状態表示
    SET1: セットポイント1LED
    SET2: セットポイント2LED
    SET3: セットポイント3LED
    エミッション電流 2mA(1×10-3Pa以下)、10μA
    DEGAS エレクトロンボンバード方式、エミッション電流2mA、グリッド電圧約330V
    センサ耐圧 2×10+5Pa(絶対圧)
    * フランジやクランプなどの耐圧力は別途考慮要
    センサ内容積 SWT-16 : 17cm3
    使用温度範囲 10〜50ºC
    使用湿度範囲 15〜80%(ただし、結露なきこと)
    保管温度 -20〜65ºC(非通電時、結露なきこと)
    IP保護等級 IP30
    電源電圧 DC20〜28V (リップル、ノイズ1%以下)
    定常時約 8W、DEGAS時19W以下、電源投入時6A以下(4ms)
    入出力コネクタ D-sub15ピン(M2.6ネジ)
    本体質量コントローラ 約530g 測定子(SWT-16): 80g
    外形寸法 W×D×H 約183.8×約75×約62.2mm
    適合規格 CE




    マルチイオンゲージセンサ SWT-16(NW16)
    材質:フィラメント : Ir/Y2O3コート
    PtC-Mo、SUS304、W、Kovar glass、Kovar/Niメッキ
    ピラニゲージ SPU
    ピラニゲージセンサ WP-16(NW16)
    材質 : フィラメントPt、その他Bs/Niメッキ、Ni、半田
    圧力センサSAU(NW16) 材質SUS316L
    ユニットケーブル ST2 ~ SPU、ST2 ~ SAU間ケーブル 0.5m
    ディスプレイ 1CH: ISG1(DC24V電源使用)
    4CH: IM1R1(DC24V電源使用)/IM2R1(AC100V電源使用)
    ディスプレイユニットケーブル ST2 ~ディスプレイユニット間ケーブル
    2m、5m、10m、15m、20m
    コネクタ 入出力コネクタ(D-sub15-soket(M2.6mmネジ)
    その他 検査成績書、一般校正試験成績書、JCSS校正証明書

    ■ 各モード仕様:SH2-1/SH2-2は、マルチオインゲージ単体モード、ピラニゲージとのコンビネーションモード、ピラニゲージおよび大気圧センサとのトリプルコンビネーションモードの3種類の使用方法から選択可能です

    モード SH2-1/SH2-2
    単体モード
    SH2-1/SH2-2+SPU
    コンビネーションモード
    SH2-1/SH2-2+SPU+SAU
    コンビネーションモード
    測定圧力範囲 5×10-8〜1×10+1Pa 5×10-8〜1×10+4Pa 5×10-8〜1×10+5Pa
    測定精度 5×10-8〜1×10+1Pa:
    ±15%
    5×10-8〜1×10+3Pa:
    ±15%
    1.0×10+3〜3.0×10+3Pa: ±30%
    3.0×10+3〜1.0×10+4Pa:
    精度保証なし
    5×10-8〜1×10+3Pa:
    ±15%
    1.0×10+3〜3.0×10+3Pa: ±30%
    3.0×10+3〜1.0×10+4Pa:
    精度保証なし
    1.0×10+4〜1.0×10+5Pa: ±3%F.S.
    (3×10+3Pa・
    基準温度25ºC)
    繰返精度 1×10-6〜1×10-1Pa: ±2%
    接続図 (例)

    カタログ[PDF]

    図面データ

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