Top > コンポーネント > 真空計 > ホットカソードゲージ >

ホットカソードゲージ

真空計G-TRANシリーズ マルチイオンゲージ
ST2-1/ST2-2

st2

高真空下の測定において、真空計の精度(感度のばらつき、誤差など)や短寿命(測定子の汚れ、放電し難いなど)でお困りではありませんか?ULVACはこの様なご要望に応えるため、真空計にとって厳しい環境でもより長く、しかも精度よく測定可能な電離真空計を開発・製品化しました。この世界初の三極管型メタル電離真空計は、ランニングコストを大幅に抑え、さらに各種プロセスの歩留まり向上においても、お役立て頂けるものとなっております。

ST2

G-TRANシリーズ マルチイオンゲージ
SH2-1/SH2-2

G-TRAN Series Multi Ionization Gauge SH2-1_SH2-2

ULVAC は、異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型『G-TRAN シリーズ マルチイオンゲージ』(特許申請中)を開発、製品化しました。従来方式の複数の原理を一つの匡体に組み合わせた複合的な真空計では、「1つの測定子の故障で測定子の全交換が必要」「測定子が複雑で故障しやすい」「測定子が高価」などのお客様の声をよく耳にします。この新方式であれば、広帯域測定を可能としながら、ランニングコストも大幅に抑え、低環境負荷の対応となります。

電離真空計GI-M2/GI-D7

gi-m2

中真空~超高真空領域の測定が可能な熱陰極型電離真空計です。10+1〜10-8Pa(メタル管球タイプ、GI-M2)、10-1〜10-6Pa(ガラス管球タイプ、GI-D7)

▲Return to Top