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AxTRAN

極高真空計
AxTRAN

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AxTRANは、イオン源とイオンコレクタとの間にBessel-Box型エネルギーフィルタを配置した熱陰極型電離真空計です。
軟X線、ESDイオン等による残留電流を低減したことで、0.5×10-10Paの測定分解能を実現しました。

特長

  • 10-11Pa台の圧力測定が可能
  • 軟X線やESDイオン等の残留電流の低減が可能
  • 1×10-2〜0.5×10-10Paの広い圧力範囲
  • 圧力は0〜10Vの疑似Log出力 / 各桁内1Vリニア出力の標準装備
  • セットポイント2点の出力可能
  • BCD/RS232Cが可能(オプション)
  • CE対応

用途

  • 高エネルギー加速器などの真空装置の圧力測定に
  • 超高、極高真空装置の圧力測定に

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