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極高真空計

極高真空計
AxTRAN

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AxTRANは、イオン源とイオンコレクタとの間にBessel-Box型エネルギーフィルタを配置した熱陰極型電離真空計です。
軟X線、ESDイオン等による残留電流を低減したことで、0.5×10-10Paの測定分解能を実現しました。

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