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NCHシリーズ

真空搬送プラットフォーム
NCHシリーズ

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nch4000

NCHシリーズはロボットと搬送コア室/ロードロック室などを組み合わせた真空搬送プラットフォームです。

特長

  • 接続ポートは4箇所(4角形)から最大8箇所(8角形)まで幅広く選択できます。
  • 25段カセット対応のロードロック室を標準装備しています。
  • 排気系、真空計など豊富なオプションを用意しています。

用途

  • 各種半導体用装置でのウェーハ自動搬送
  • 各種真空実験装置での基板搬送

仕様

ウェーハサイズ 最大300mm
接続ポート数 4〜8
搭載ロボット ELEC (COVOT)
ロードロック 25段カセット昇降式
排気系/真空計 オプション

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