真空搬送プラットフォーム
NCHシリーズ
NCHシリーズはロボットと搬送コア室/ロードロック室などを組み合わせた真空搬送プラットフォームです。
- 接続ポートは4箇所（4角形）から最大8箇所（8角形）まで幅広く選択できます。
- 25段カセット対応のロードロック室を標準装備しています。
- 排気系、真空計など豊富なオプションを用意しています。
- 各種半導体用装置でのウェーハ自動搬送
- 各種真空実験装置での基板搬送
| ウェーハサイズ | 最大300mm |
| 接続ポート数 | 4〜8 |
| 搭載ロボット | ELEC (COVOT) |
| ロードロック | 25段カセット昇降式 |
| 排気系／真空計 | オプション |
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