NCHシリーズはロボットと搬送コア室/ロードロック室などを組み合わせた真空搬送プラットフォームです。
カタログ、図面、I/Oデータのダウンロードには「ユーザー登録(無料)」が必要です。ユーザー登録がまだの方はユーザー登録ページよりご登録いただきますようお願いいたします。
すでにユーザー登録がお済みの方はこちらからログインしてください。