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ELEC-RZ

真空搬送ロボット
ELEC-RZ

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ELEC-RZ

ELEC-RZはCOVOTシリーズの持つ優れた機能・性能をベースにコンパクト化と低コスト化を実現した高真空対応の搬送ロボットです。

特長

  • 真空シールに磁性流体シールを採用し、10-6Paまでの高真空に対応します。
  • アクチュエータを小型化することでコンパクト化を実現し、装置への搭載を容易にしました。
  • ストロークや旋回半径、ハンドの数などにより多彩なアームを用意しています。
  • 操作性に優れたマルチファンクション・ディスプレイ式ティーチングペンダントを採用しています。

用途

  • 各種半導体用装置でのウェーハ自動搬送
  • 各種真空実験装置での基板搬送

仕様

使用圧力領域 大気圧〜10-6Pa
ウェーハサイズ 200mm/300mm
ウェーハ保持枚数 1枚/2枚
最大到達距離 * 1050mm
回転角度 ±210º
昇降ストローク 50mm
最小旋回直径 * 944mm 取付アームによる
可搬重量(ハンド含む) 1kg
動作速度 伸縮 Max 2.5sec / フルストローク
旋回 Max 3.0sec / 180º
昇降 Max 1.5sec / 20mm
繰り返し位置精度 伸縮 ±0.1mm
旋回 ±0.2mm
昇降 ±0.2mm
ティーチングペンダント 付属
コントローラ 別置き

*取り付けアームおよびハンドにより異なります。

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