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COVOT-LC

真空搬送ロボット
COVOT-LC

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COVOT‐LC

COVOT-LCはZ軸を持たない、シンプルでリーズナブルな真空搬送ロボットです。

特長

  • Z軸を持たない、シンプルな2軸ロボットです。
  • コントローラを内蔵していますので、コンパクトな装置レイアウトが実現できます。
  • 10-5Paの高真空まで対応します。

用途

  • 各種半導体用装置でのウェーハ自動搬送
  • 各種真空実験装置での基板搬送

仕様

使用圧力領域 大気圧〜10-5Pa
ウェーハサイズ 200mm/300mm
ウェーハ保持枚数 1枚/2枚
最大到達距離 * 880mm
回転角度 -15º 〜 375º
昇降ストローク -
最小旋回直径 * 802mm 取付アームによる
可搬重量(ハンド含む) 1kg
動作速度 伸縮 Max 2.5sec / フルストローク
旋回 Max 2.5sec / 180º
昇降 -
繰り返し位置精度 伸縮 ±0.2mm
旋回 ±0.2mm
昇降 -
ティーチングペンダント オプション
コントローラ 内蔵

*取り付けアームおよびハンドにより異なります。

データダウンロード

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