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COVOT-6

真空搬送ロボット
COVOT-6

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COVOT‐6

COVOT-6は独立した4本のアームを備え、高スループットを実現した真空搬送ロボットです。

特長

  • 独立した4本のアームを装備し、基板2枚の同時入れ替え動作が可能。
  • 7軸のアクチュエータを持ち、4本のアームそれぞれでティーチングができます。
  • AWS機能(基板位置の自動補正機能)を標準装備しています。
  • 10-1Paの中真空に対応します。

用途

  • 各種半導体用装置でのウェーハ自動搬送
  • 各種真空実験装置での基板搬送

仕様

使用圧力領域 大気圧〜10-1Pa
ウェーハサイズ 300mm
ウェーハ保持枚数 4枚
最大到達距離 * 880mm
回転角度 360º エンドレス
昇降ストローク 90mm
最小旋回直径 * 980mm
可搬重量(ハンド含む) 1kg
動作速度 伸縮 Max 1.5sec / フルストローク
旋回 Max 2.0sec / 180º
昇降 Max 1.5sec / 20mm
繰り返し位置精度 伸縮 ±0.2mm
旋回 ±0.2mm
昇降 ±0.2mm
ティーチングペンダント 付属
コントローラ 別置き

*取り付けアームおよびハンドにより異なります。

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