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COVOT

真空搬送ロボット
COVOT

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COVOT

COVOTは長年の経験と技術をもとに設計された、剛性が高く位置精度に優れた高真空対応の搬送ロボットです。

特長

  • 真空シールに磁性流体シールを採用し、10-6Paまでの高真空に対応します。
  • コントローラを内蔵していますので、コンパクトな装置レイアウトが実現できます。
  • AWS機能(基板位置の自動補正機能)をオプションで追加することができます。
  • 旋回動作に制限が無く、360º旋回可能ですので取り付け方向に制約がありません。

用途

  • 各種半導体用装置でのウェーハ自動搬送
  • 各種真空実験装置での基板搬送

仕様

使用圧力領域 大気圧〜10-6Pa
ウェーハサイズ 200mm/300mm
ウェーハ保持枚数 1枚/2枚
最大到達距離 * 1050mm
回転角度 360º エンドレス
昇降ストローク 50mm
最小旋回直径 * 944mm 取付アームによる
可搬重量(ハンド含む) 1kg
動作速度 伸縮 Max 2.5sec / フルストローク
旋回 Max 2.5sec / 180º
昇降 Max 1.5sec / 20mm
繰り返し位置精度 伸縮 ±0.2mm
旋回 ±0.2mm
昇降 ±0.2mm
ティーチングペンダント 付属
コントローラ 内蔵

*取り付けアームおよびハンドにより異なります。

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