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Zetaシリーズ

光学式プロファイラ
Zetaシリーズ

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zeta-20

Zetaシリーズは非接触・非破壊でさまざまなサンプル表面の3D形状を簡単・迅速に測定する光学式プロファイラです。オプションで光干渉や反射分光など原理の異なる測定機能を追加することが可能で、多様な用途でお使いいただけます。※日本国内販売のみ

光学式プロファイラZetaシリーズ紹介パンフレット

特長

・独自のZDotTMグリッド共焦点測定技術で、さまざまな表面形状の評価が簡単に行えます。

・13nm~25mmのワイドな垂直レンジで多様な用途に対応します。

・True colorイメージングにより、リアルな色彩を再現します。

・光干渉式形状測定、反射分光式膜厚測定など多彩な測定機能を追加できます。

・Zeta-20(卓上型)、Zeta-300(架台一体型)、Zeta-388(自動搬送機構付)の3タイプを用意しています。

用途

試料表面の3D形状、段差(膜厚)、粗さ等の計測評価

仕様

■機種別仕様

■共通測定仕様


■測定例

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