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非接触式金属膜厚測定器

非接触型金属膜厚測定器
MESEC

MESEC

MESEC BIT-2000/3000(ビルドイン型)
半導体配線プロセスにおいて、ウェーハ上に成膜された金属薄膜の膜厚分布管理は、デバイスの特性、歩留まりを左右する為、品質管理上重要な要素になっています。MESECは、直接製品ウェーハにて測定できる為、より信頼性高い評価結果の取得が可能となり、さらにモニタウェーハの削減にも寄与します。

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