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高速分光エリプソメータ

≫ アルバックのエリプソメータ 3つの特長とは?
UNECSシリーズ は薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。ユニークな ポータブルタイプ をはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。 

高速分光エリプソメータ
UNECS-Portable(ポータブル)

UNECS-Portable

軽量・コンパクトなポータブルタイプ

UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。
UNECS-Portableは、測定部の重量が2.2kgと軽量・コンパクトで、持ち運びも容易にできるポータブルタイプです。小型サンプル用に簡易的な固定ステージが付属し、ステージから取り外して大型のサンプルなどの測定もできます。
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高速分光エリプソメータ
UNECS-1500M(手動ステージ)

UNECS-1500M

φ150mm対応の手動ステージタイプ

UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。
UNECS-1500Mは、操作性の良いφ150mm 対応の手動式R-θステージを装備しており、測定位置決めが容易に行なえます。
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高速分光エリプソメータ
UNECS-1500A/2000A/3000A(自動ステージ)

UNECS-2000A

マッピング測定が可能な自動ステージタイプ

UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。
UNECS-1500A/2000A/3000Aは、自動R-θステージとオートフォーカス機能により基板面内の膜厚分布を素早く自動測定し、結果をカラーマップ表示します。
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高速分光エリプソメータ
UNECS-1M(ビルトイン)

UNECS-1M

各種装置への組み込みが可能なビルトインタイプ

UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。
UNECS-1Mは、軽量・コンパクトなセンサユニットにより、成膜装置などへの組み込みが容易に行なえます。通常の大気タイプのほか、真空環境に対応した真空タイプも用意しています。
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小型高速分光エリプソメータ
UNECS-2000

unecs2000

UNECS-2000(ユネクス-2000)は高次移相子を備えた分光偏光方式を採用し、従来の分光エリプソメータの測定方式では不可能であった、高速化、小型化を優れたコストパフォーマンスで実現した最新の分光エリプソメータです。φ200mmまでのサンプルに対応した電動式ステージを備え、簡単な操作で高精度に膜厚や屈折率、消衰係数などの光学測定が行えますので、研究開発から生産ラインまで幅広い用途でご使用いただけます。
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