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CRTM-9200

水晶発振式成膜コントローラ
CRTM-9200

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s-CRTM9200

CRTM-9200はCRTM-9100Gの後継機として、機能・デザイン共に継承で互換性は基本的に維持しつつ、ディスプレイの視野角もこうじょうしております。優れた膜厚・レート分解能(0.0022Å)で低レート蒸着制御や高精度な膜厚制御を実現した水晶発振式成膜コントローラです。オプション追加で最大4元同時に蒸着制御も可能です。

>>有機用4MHzモニタ用水晶板の開発

特長

  • 優れた膜厚・レート分解能(0.0022Å)により、低レート蒸着制御にも最適です。
  • 4元同時の蒸着制御が可能です。(オプション追加時)
  • 最大99層までの多層膜制御が可能です。
  • プログラムをUSBメモリへ保存可能です。
  • 水晶板への成膜に付着した膜の履歴を考慮した正確な膜厚測定が出来ます。(MLC機能)

用途

  • 蒸着時の膜厚及びレート制御

仕様

膜厚・レート分解能

0.0034 Å (4MHzクリスタル時・水晶板使用時)

0.0022 Å (5MHzクリスタル時・水晶板使用時)

0.0015 Å (6MHzクリスタル時・水晶板使用時)

膜厚表示範囲/表示分解能 0.001kÅ 〜 999.9kÅ /1Å
蒸着速度表示範囲/表示分解能 0.001 〜 999.9Å/s / 0.001Å/s
対応センサ周波数 4MHz, 5MHz, 6MHz
取り付け可能センサ数 2 (オプション追加で最大8)
サンプリングレート 250ms
多層膜数 99層
デポジションプログラム数 128
デジタル入力/出力 入力:12chプログラマブル
出力:16chプログラマブル
アナログ出力 POWER(0〜0.99V) オプションでRATE、THK追加可能
外形寸法(W×D×H)mm 480 x 318 x 149

カタログ[PDF]

図面データ

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