Top > コンポーネント > 薄膜計測 > 水晶発振式成膜コントローラ >

水晶発振式成膜コントローラ

水晶発振式成膜コントローラ
CRTM-6000G

Quartz Crystal Deposition Controller CRTM-6000G

CRTM-6000Gは優れた分解能で、蒸着膜厚/レートのモニタリング及び制御が可能な水晶発振式の成膜コントローラです。ハーフラックサイズのコンパクトなボディーながら、低レート制御や99層までの多層膜連続蒸着制御も可能です。

水晶発振式成膜コントローラ
CRTM-9200

s-CRTM9200

CRTM-9200はCRTM-9100Gの後継機として、機能・デザイン共に継承で互換性は基本的に維持しつつ、ディスプレイの視野角もこうじょうしております。優れた膜厚・レート分解能(0.0022Å)で低レート蒸着制御や高精度な膜厚制御を実現した水晶発振式成膜コントローラです。オプション追加で最大4元同時に蒸着制御も可能です。

>>有機用4MHzモニタ用水晶板の開発

水晶発振式成膜コントローラ用マルチセンサ
CRTS-M6

Multi-sensor for Quartz Crystal Oscillation Type Deposition Controller CRTS-M6

CRTS-M6は水晶発振式成膜コントローラ CRTMシリーズ用に開発された、ロータリ式マルチセンサです。5MHzまたは6MHzのクリスタルが6枚搭載可能で、連続蒸着などにも安心してお使いいただくことができます。

水晶発振式成膜コントローラ用マルチセンサ
CRTS-12NS

Multi-sensor for Quartz Crystal Oscillation Type Deposition Controller CRTS-12NS

CRTS-12NSは水晶発振式成膜コントローラ CRTMシリーズ用に開発された、ロータリ式のマルチセンサです。5MHzクリスタルを12枚搭載可能ですので、長時間にわたる連続蒸着などにも安心してお使い頂けます。

▲Return to Top