Top > コンポーネント > 薄膜計測 >

薄膜計測

アルバックは、エリプソメータ、水晶発振式成膜コントローラなのど蒸着膜厚制御向けの装置などを提供しています。

高速分光エリプソメータ

高速分光エリプソメータ
UNECS-Portable(ポータブル)

UNECS-Portable

軽量・コンパクトなポータブルタイプ

UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。
UNECS-Portableは、測定部の重量が2.2kgと軽量・コンパクトで、持ち運びも容易にできるポータブルタイプです。小型サンプル用に簡易的な固定ステージが付属し、ステージから取り外して大型のサンプルなどの測定もできます。
>> エリプソメータのラインアップはこちらから

高速分光エリプソメータ
UNECS-1500M(手動ステージ)

UNECS-1500M

φ150mm対応の手動ステージタイプ

UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。
UNECS-1500Mは、操作性の良いφ150mm 対応の手動式R-θステージを装備しており、測定位置決めが容易に行なえます。
>> エリプソメータのラインアップはこちらから

高速分光エリプソメータ
UNECS-1500A/2000A/3000A(自動ステージ)

UNECS-2000A

マッピング測定が可能な自動ステージタイプ

UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。
UNECS-1500A/2000A/3000Aは、自動R-θステージとオートフォーカス機能により基板面内の膜厚分布を素早く自動測定し、結果をカラーマップ表示します。
>> エリプソメータのラインアップはこちらから

高速分光エリプソメータ
UNECS-1M(ビルトイン)

UNECS-1M

各種装置への組み込みが可能なビルトインタイプ

UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。
UNECS-1Mは、軽量・コンパクトなセンサユニットにより、成膜装置などへの組み込みが容易に行なえます。通常の大気タイプのほか、真空環境に対応した真空タイプも用意しています。
>> エリプソメータのラインアップはこちらから

小型高速分光エリプソメータ
UNECS-2000

unecs2000

UNECS-2000(ユネクス-2000)は高次移相子を備えた分光偏光方式を採用し、従来の分光エリプソメータの測定方式では不可能であった、高速化、小型化を優れたコストパフォーマンスで実現した最新の分光エリプソメータです。φ200mmまでのサンプルに対応した電動式ステージを備え、簡単な操作で高精度に膜厚や屈折率、消衰係数などの光学測定が行えますので、研究開発から生産ラインまで幅広い用途でご使用いただけます。
>> エリプソメータのラインアップはこちらから

非接触式金属膜厚測定器

非接触型金属膜厚測定器
MESEC

MESEC

MESEC BIT-2000/3000(ビルドイン型)
半導体配線プロセスにおいて、ウェーハ上に成膜された金属薄膜の膜厚分布管理は、デバイスの特性、歩留まりを左右する為、品質管理上重要な要素になっています。MESECは、直接製品ウェーハにて測定できる為、より信頼性高い評価結果の取得が可能となり、さらにモニタウェーハの削減にも寄与します。

水晶発振式成膜コントローラ

水晶発振式成膜コントローラ
CRTM-6000G

Quartz Crystal Deposition Controller CRTM-6000G

CRTM-6000Gは優れた分解能で、蒸着膜厚/レートのモニタリング及び制御が可能な水晶発振式の成膜コントローラです。ハーフラックサイズのコンパクトなボディーながら、低レート制御や99層までの多層膜連続蒸着制御も可能です。

水晶発振式成膜コントローラ
CRTM-9200

s-CRTM9200

CRTM-9200はCRTM-9100Gの後継機として、機能・デザイン共に継承で互換性は基本的に維持しつつ、ディスプレイの視野角もこうじょうしております。優れた膜厚・レート分解能(0.0022Å)で低レート蒸着制御や高精度な膜厚制御を実現した水晶発振式成膜コントローラです。オプション追加で最大4元同時に蒸着制御も可能です。

>>有機用4MHzモニタ用水晶板の開発

水晶発振式成膜コントローラ用マルチセンサ
CRTS-M6

Multi-sensor for Quartz Crystal Oscillation Type Deposition Controller CRTS-M6

CRTS-M6は水晶発振式成膜コントローラ CRTMシリーズ用に開発された、ロータリ式マルチセンサです。5MHzまたは6MHzのクリスタルが6枚搭載可能で、連続蒸着などにも安心してお使いいただくことができます。

水晶発振式成膜コントローラ用マルチセンサ
CRTS-12NS

Multi-sensor for Quartz Crystal Oscillation Type Deposition Controller CRTS-12NS

CRTS-12NSは水晶発振式成膜コントローラ CRTMシリーズ用に開発された、ロータリ式のマルチセンサです。5MHzクリスタルを12枚搭載可能ですので、長時間にわたる連続蒸着などにも安心してお使い頂けます。

触針式プロファイラ

触針式プロファイラ
P-7/P-17

P-7

P-7/P-17 は優れた測定再現性と長距離測定、自動シーケンスなど多彩な機能を備えたKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーです。さまざまな表面形状を迅速かつ高精度に評価することができます。

触針式プロファイラ
Alpha-Step D-500/D-600

d500

Alpha-Step D-500/D-600 は、さまざまな試料表面の段差(膜厚)、粗さ、形状を高精度に測定するKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーです。充実した仕様・性能を備えコストパフォーマンスも優れていますので、研究開発から生産まで幅広い用途でお役立ていただけます。