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生産終了と製品保守のお知らせ

弊社製品に関わる、保守メンテナンス販売および生産終了などの情報を開示いたします。 ご不明な点に関しましては個々の

ご案内の文末に掲載されている連絡先へお問合せください。

[保守メンテナンス]

2018年8月15日 各種計測器の超高真空フランジの規格変更のお知らせ
2018年6月22日 超高真空フランジ:UFCシリーズ材料変更および販売価格改定のお知らせ
2018年6月6日 ピラニ真空計測定子 WP-01/02/03/16用ハーメチック端子の材質変更のお知らせ
2018年5月22日 質量分析計、一部消耗品および部品生産終了のお知らせ
2018年5月22日 真空計アナログメータの静電気による不安定動作に関して
2018年5月22日 電離真空計用測定子WIT、WIB の検査合格証の変更
2018年3月30日 真空搬送ロボット 『COVOT-Z52』生産終了のお知らせ
2018年2月19日 小型高速分光エリプソメータ UNECS-2000生産終了のお知らせ
2017年10月 ヘリウムリークディテクタHELIOT300シリーズの保守について
HELIOT シリーズ 信号変換ユニット EXC-73 ご使用に関して
2017年2月1日 スパッタイオンポンプ用コントローラGST-07L生産終了のお知らせ
2016年8月1日 粉体吸着トラップ TRO-50価格改定のお知らせ
2016年6月23日 水晶発振式成膜コントローラ(CRTM-9200)の販売開始のご案内
2016年6月23日 電離真空計測定子(WIT/WIB/WIN)の販売価格改定のご案内
2016年4月1日 真空アングルバルブ(旧ラインアップ)及び関連バルブ生産終了のお知らせ
2016年3月10日 真空アングルバルブのラインナップ変更のお知らせ
2016年3月3日 油拡散ポンプULK-14A(D-31)用ヒータ仕様変更のお知らせ
2015年12月1日 メカニカルブースタポンプ PMB-003C(M)生産終了のお知らせ
2015年8月5日 マイクロアークモニター生産終了のお知らせ
2015年7月15日 小型分圧モニタ MALIN 測定子の販売価格改定のご案内
2015年6月24日 真空バルブVUH-651C、VUGPシリーズ、VUGHシリーズ、VAPシリーズ、VAHシリーズ販売終了のお知らせ
2015年6月9日 油回転真空ポンプPKS-070/PKS-030/PKS-016における高効率モータ(IE3)への切り替えのお知らせ
2015年6月2日 真空ポンプオイル ULVOIL価格改定のご案内
2015年4月15日 EB電源HPS-1000FおよびEBガンコントローラEGC-10G生産中止のお知らせ
2015年3月27日 ACパルス電源生産中止のお知らせ
2015年2月20日 クリーンホイル販売終了のお知らせ
2015年2月19日 真空ポンプ用合成油の販売価格改定及び販売終了のお知らせ
2015年1月27日 『リークディテクタHELIOT710シリーズ』販売終了のご案内
2014年6月30日 大型FPD用触針式表面形状測
定器『NSPRシリーズ』販売終了のお知らせ
2014年6月19日 触針式表面形状測定器『Dektakシリーズ』サービスサポートのご案内
2014年6月2日 真空計のJCSS校正の範囲が全真空計(熱伝導・電離・隔膜・粘性真空計)に拡大!
2014年2月4日 Bruker Nano社製品販売取扱い終了のお知らせ
2014年1月20日 触針式表面形状測定器『Dektakシリーズ』業務移管のお知らせ
2013年12月16日 リークディテクタHELIOT700
シリーズ タッチパネル無償交換・修理対応の終了
2013年9月20日 CRTM-9100Gのバックアップデータ互換に関してのご連絡
2013年6月20日 『真空ポンプオイル ULVOIL』価格改定のご案内
2013年6月4日 『RF電源RFS-C、A、U、RGN各シリーズ用マッチングボックス』
保守パーツ供給終了のご案内
2013年5月30日 『メカニカルブースターポンプ排気装置 YM-VD/YM-VS シリーズ』
販売終了のご案内
2013年4月3日 『メカニカルブースターポンプ PMB-001C(M)』生産終了のご案内
2013年2月21日 『リークテスターHELIOT100シリーズ』販売終了のご案内
2013年2月7日 『スパッタイオンポンプコントローラGST-03L』サポート期間終了のお知らせ
2013年1月18日 『ピラニ真空計GP-2G/GP->2GRY』生産終了のご案内
2012年12月20日 『触針式表面形状測定器Dektak 6M』保守パーツ供給終了のご案内
2012年10月9日 『G-TRAN シリーズ・ボックスユニットBMR2/BPR2』生産終了のご案内
2012年4月25日 『クロマトグラム取込器ChromatoDAQII』販売終了のご案内
2011年11月30日 『オイルミストトラップを安全にご使用いただくために』
2010年8月16日 真空計の国際MRA/JCSS認定校正事業者に認定されました
2010年2月5日 『油拡散エゼクタポンプオイルB-50K』販売終了と後継オイルについてのご案内
2010年2月2日 『超高真空計GI-N8』の生産終了のご案内
2009年9月15日 『ORIGIN製品の販売・サポート業務終了と業務移管のお知らせ』
2009年9月9日 RFS-A シリーズ、U シリーズ、RGN シリーズ生産終了のご案内
2009年7月1日 『高周波利用設備申請のご案内』
2009年2月27日 Veeco社製 触針式表面形状測定器『Dektak Vシリーズ/Dektak OSPシリーズ』
サービスパーツ供給終了のご案内
2009年2月10日 『ピラニ測定子 WPシリーズのRoHS対応品のご注意』
2009年1月5日 『油拡散ポンプ ULKシリーズヒーター交換作業のご注意』
2008年11月25日 『電気・電子コンポーネントに関する予防保全について』
2008年8月22日 Veeco社製 触針式表面形状測定器『Dektak3シリーズ』
サービスパーツ供給終了のご案内
2008年6月26日 『リークディテクタHELIOT700シリーズ タッチパネル無償交換・修理の連絡』
2008年6月16日 『弊社校正リークの輸送時の問題に関するご報告』
2008年5月19日 『弊社ポンプ搭載のモータに関する製品安全情報のご連絡』
2007年8月2日 FADM/CRTM旧機種用 ELパネル供給終了のお知らせ
2007年2月15日 スパッタイオンポンプコントローラ
GST-07Lの販売開始とGST-03L販売終了のご案内
2006年6月6日 真空管式電子ビーム蒸着用電源の保守部品供給終了のお知らせ
2006年3月10日 アルバックコンポーネント修理/点検作業依頼書兼汚染証明書のご案内
2006年2月21日 『ターボ分子ポンプ UTM-150/UTM-300 無償交換・修理依頼のご連絡』
2006年2月7日 真空計(G-TRAN/OCTIE)の標準付属コネクタ変更のご案内
2005年2月18日 旧CRTMシリーズオプションパーツ製造・販売終了のご案内
2005年1月28日 真空管式電子ビーム蒸着用電源 保守パーツ供給終了のご案内
2004年10月19日 電離真空計 GI-TL3/GI-TL3RYの無償修理のご連絡
2004年9月3日 ガス分析計用セラトロン供給終了のご案内
2003年11月25日 Veeco社製 触針式表面形状測定器『Dektakシリーズ』
一部製品のサービスパーツ供給終了のご案内

[販売および生産終了]

公表日 商品名 型式 備考
2018年10月31日 ターボ分子ポンプUTMシリーズ及び排気ユニットYTPシリーズ 添付資料 販売終了時期:2019年4月30日
代替機種:添付資料
2018年9月28日 DC電源 DCS0202B、DCS0402B 生産終了時期:2019年3月
代替機種:添付資料
2018年9月28日 DC電源用切替機 PCL-MEXシリーズ、PCL-EXシリーズ 生産終了時期:2019年3月
代替機種:添付資料
2018年9月28日 EB電源 HPS-1000WF、EGC-10WF、EGC-10S 生産終了時期:2018年9月
代替機種:添付資料
2018年9月28日 EB電源関連製品 PSG-004S、PSG-004G 生産終了時期:2018年9月
代替機種:添付資料
2018年8月15日 広帯域真空計用測定子 OCTIE O-11/O-13/O-14/O-17および測定子ケーブル 添付資料 販売終了時期:2019年6月30日
代替機種:G-TRANシリーズ SW1/ISG1 Package
2018年8月15日 アナログピラニ真空計 GP-1GRY Bタイプ/Cタイプ 添付資料 販売終了時期:2019年3月30日
代替機種:GP-1GRY Bタイプ、G-TRANシリーズ SW1/ISG1 Package
2018年5月22日 質量分析計、一部消耗品および部品 添付資料 販売終了時期:2018年12月28日
2018年3月30日 真空搬送ロボット COVOT-Z52 販売終了時期:2018年12月28日
後継機種 真空搬送ロボット 『ELEC-RZ』
2018年2月19日 小型高速分光エリプソメータ UNECS-2000 販売終了
後継機種 ・UNECS-Portable(固定ステージモデル)
UNECS-1500M(φ150mm 手動R-θステージモデル)
UNECS-1500A (φ150mm 自動R-θステージモデル)
UNECS-2000A (φ200mm 自動R-θステージモデル)
2017年2月1日 スパッタイオンポンプ用コントローラ GST-07L 販売終了
2016年8月 オイルフィルトレーションシステム OF-2 / OF-3 販売終了時期:2016年10月31日
2016年6月 水晶発振式成膜コントローラ CRTM-9100G 販売終了
代替機種:CRTM-9200
2016年4月 真空バルブ 生産終了機種と後継機種一覧表 在庫限り販売
後継機種:生産終了機種と後継機種一覧表
2015年12月 メカニカルブースタポンプ PMB-003C(M) 在庫限り販売
後継機種:メカニカルブースタポンプ PMB300D(インバータ付)
2015年8月 マイクロアークモニター MAM102 販売終了日:2015年12月25日
後継機種:現行のDC電源(DPG-10/20)にはアークカウント機能を標準装備
2015年7月 超高真空バルブ VUH-651C 販売終了
2015年7月 超高真空ゲートバルブ VUGPシリーズ、VUGHシリーズ 販売終了
2015年7月 高真空ゲートバルブ VAPシリーズ(8B以上)、VAHシリーズ(8B以上)

販売終了
2015年4月 EB電源、EBガンコントローラ EB電源 HPS-1000F/
EBガンコントローラ EGC-10G
販売終了
代替機種:HPS-1000N/EGC-10GS
2015年3月 ACパルス電源 DC電源部 DPG-25、DPG-MC150/
パルスユニット部 APG-50、APG-100、APG-CP
販売取扱い終了
2015年1月 リークディテクタ HELIOT710シリーズ 販売終了
代替機種:HELIOT900シリーズ
2014年6月 大型FPD用触針式表面形状測定器 NSPR-1300/1850/2400/2500/3000 販売取扱い終了
2014年2月 Bruker社製 非接触式光干渉粗さ計、走査型プローブ顕微鏡 ContourGTシリーズ/
Dimensionシリーズ/
Multimode-8/Innova/Bioscope Catalyst
販売取扱い終了
2014年2月 触針式表面形状測定器 Dektak XTシリーズ(XT-E/XT-S/XT-A) 販売取扱い終了
2013年4月 メカニカルブースターポンプ PMB-001C(M) 販売終了
代替機種:PMB100D
2013年2月 リークテスター HELIOT 101/102/102+/103 販売終了
代替機種:HELIOT900シリーズ
2013年1月 アナログピラニ真空計 GP-2G/2GRY 販売終了
代替機種:GP-1G/1GRY/1000GG-TRAN
2012年10月 G-TRANシリーズ ボックスユニット ピラニゲージ BPR2 販売終了
代替機種: G-TRAN SH2と連動使用時の SPU/ SP1/ SW1-1/SW1-2
2012年10月 G-TRANシリーズ ボックスユニット ホットカソードゲージ BMR2 販売終了
代替機種:G-TRAN SH2,ST2
2012年4月 クロマトグラム取込器 ChromatoDAQII 販売終了日:2012年5月31日
2012年2月 電離真空計測定子 WIT-G2/G3、WIB-G6/G7、
WIN-G1/G2/G3/G5/G6/G7
販売終了
測定子WIB-G5/N3、WIN-N3は今後も継続して販売致します
2012年2月 ピラニ真空計測定子 WP-04/05/06 販売終了
測定子WP-01/02/03/16は今後も継続して販売致します
2012年2月 ペニング真空計 GI-PA、GI-PARY、GI-PRYS 販売終了
代替機種:SC1,ST2
2012年2月 ピラニ真空計 GP-1GRY・Dタイプ 販売終了
代替機種:ピラニ真空計GP-1GRYタイプ
2012年1月 触針式表面形状測定器 Dektak 150 販売終了
2011年10月 ターボ分子ポンプ UTM-Mシリーズ(UTM-300M/UTM-500M/UTM-1500M) 販売終了
代替機種:UTM-FWシリーズ
2011年10月 EB電源用真空管 E3072(HPS-1610F用) 販売終了
2011年6月 油回転真空ポンプ D-(D)Kシリーズ(D-330K/D-650K/D-950K/D-330DK/D-650DK/D-950DK) 販売終了
代替機種:VDシリーズ
2011年6月 触針式表面形状測定器 Dektak 8 販売終了
2011年3月 メカニカルブースターポンプ PMB‐Bシリーズ(PMB-040B/PMB-060B) 販売終了
代替機種:PMB-040C/PMB-060C
2011年3月 自動エリプソメータ ESM1T/1AT 販売終了
2011年2月 ドライ真空ポンプ ERシリーズ(ER80/ER150/ER400/ER600/ER1200) 販売終了
代替機種:LR/HR/URシリーズ
2011年1月 DC電源 DCLシリーズ(DCL-100DUAL/DCL-600/DCL-1000) 販売終了
2010年9月 ピンポイントピラニ真空計用測定子 WP-1100A/1100B/
1100C/1100D/1100E
販売終了
フィラメントの張替えは可能
2010年8月 オイルミストトラップ TMX-40/TMX-60/TMX-80/TM-80 販売終了
2010年6月 油回転真空ポンプ ECシリーズ(EC403/EC603/EC803) 販売終了
代替機種:VDシリーズ
2010年4月 四重極質量分析計 STANDAM・ST-400 販売終了
代替機種: HGM2-302
2010年4月 反応性ガス対応プロセスガスモニタ REPROS・RE-342/402 販売終了
代替機種: Qulee RGM
2010年4月 高分解能四重極質量分析計 HIRESOM-2SM 販売終了
2010年3月 高周波電源 RFS-Aシリーズ、Uシリーズ、RGNシリーズ 販売終了
2010年3月 油拡散ポンプ F-250,U-250 販売終了
2010年2月 油拡散エゼクタポンプオイル B-50K 在庫限り販売
後継オイル:
ULVOIL_B-6
2010年2月 超高真空計 GI-N8 販売終了
代替機種:AxTRAN、
GI-M2、
GI-D7
2009年12月 データ解析テクニカルグラフソフトウェアORIGIN Origin8 販売終了
2009年9月 キャパシタンスマノメータ CCMT-A/CCMH-A 販売終了
代替機種: CCMT-D
2009年9月 水晶発振式成膜コントローラ CRTM-9000 販売終了
代替機種: CRTM-9200
2009年3月 水晶発振式成膜コントローラ用オシレータ OSC-12D 販売終了
代替機種: OSC-12DG
2009年3月 水晶発振式成膜コントローラ CRTM-6000 販売終了
代替機種: CRTM-6000G
2009年3月 油回転式真空ポンプ D-240DK 販売終了
代替機種: VD151
2008年12月 多変量解析ソフトウェア ThinkSTAT 在庫終了につき
弊社での販売終了
2008年12月 極高真空対応プロセスガスモニタ SEPION SE-100 販売終了
代替機種: Qulee HGM2
2008年12月 残留ガス分析計/プロセスガスモニタ STANDAM ST-200 販売終了
代替機種: Qulee HGM2-202
2008年12月 リークディテクタ HELIOT700シリーズ 販売終了
代替機種:HELIOT900シリーズ
2008年10月 水晶発振式成膜コントローラ用オシレータ OSC-12B 販売終了
代替機種: OSC-12BG
2008年9月 G-TRANディスプレイユニット ISP1/ISM1 販売終了
代替機種: ISG1
2008年9月 G-TRANディスプレイユニット ISP2/ISM2 販売終了
代替機種: ISG1
2008年9月 セラミックキャパシタンスマノメータ用コントローラ GM-1000 販売終了
代替機種: ISG1
2008年9月 広帯域真空計OCTIEセンサユニット/ボックスユニット SO1/BO1 販売終了
代替機種: SW1
2008年9月 広帯域真空計OCTIEディスプレイユニット ISO2 販売終了
代替機種: ISG1
2008年8月 アナログ電離真空計 GI-TL3/TL3RY 販売終了
代替機種:GI-D7
2008年7月 小型分圧モニタ MALIN 販売終了
代替機種:Qulee CGM
2007年12月 触針式表面形状測定器 Dektak 6M 販売終了
2007年12月 ピラニ真空計測定子 WPB-10-070 販売終了
2007年4月 アナログピラニ真空計 GP-2A/2ARY 後継機種:GP-1G/1GRY/1000G, G-TRAN
2007年4月 デジタルピラニ真空計  GP-2001/2002 後継機種:GP-2001G/2002G
2007年3月 ターボ分子ポンプUTM-1500/1500C用パワーサプライ 「T8」 RoHS対応「T9」バージョンに改良変更
2007年3月 ターボ分子ポンプUTM-500/500C/500M用パワーサプライ 「T8」 RoHS対応「T9」バージョンに改良変更
2007年3月 ターボ分子ポンプUTM-300/300C/300M用パワーサプライ 「T8」 RoHS対応「T9」バージョンに改良変更
2007年3月 ターボ分子ポンプUTM-150/150C用パワーサプライ 「T8」 RoHS対応「T9」バージョンに改良変更
2007年3月 ターボ分子ポンプUTM-50用パワーサプライ 「T6」 RoHS対応「T9」バージョンに改良変更
2007年2月 残留ガスモニタ REGA 後継機種:Qulee BGM2
2006年12月 ターボ分子ポンプUTM-3500D用パワーサプライ 「D2」 RoHS対応「D3」バージョンに改良変更
2006年12月 ターボ分子ポンプUTM-6300FH用パワーサプライ 「D1」 RoHS対応「D3」バージョンに改良変更
2006年12月 ターボ分子ポンプUTM-FHシリーズ用パワーサプライ 「D1」 RoHS対応「D3」バージョンに改良変更
2006年12月 ターボ分子ポンプUTM-FWシリーズ用パワーサプライ 「D1」 RoHS対応「D3」バージョンに改良変更
2006年7月 アナログピラニ真空計 GP-1S/1SRY 後継機種:GP-1G/1GRY
2006年7月 真空バルブ VSHCシリーズ 販売終了
2006年6月 真空バルブ VLHCシリーズ 後継機種: VLH-US-KF
VLH-U,US
2006年6月 真空バルブ VLPCシリーズ 後継機種: VLP-US-KF
VLP-U,US
2006年5月 デジタルピラニ真空計 GP-1000 後継機種: GP-1000G
2005年9月 G-TRANシリーズアナログディスプレイ IAP2
2005年6月 マスフィルタ型質量分析計 MSQ-400
2005年1月 電離真空計 測定子 WIN-G1/G2/G3 後継機種:WIN-G5/G6/G7
2004年11月 ガイスラー測定子 φ18/15
2004年10月 KUO型電離真空計 測定子 WI-K 販売終了
2003年12月 RF電源 RFS-Cシリーズ  
2003年12月 マッチングボックス MBX-Cシリーズ  
2003年12月 オートマッチングコントローラ AMC6D  
2003年12月 RF操作パネル RFPシリーズ  
2003年12月 触針式表面形状測定器 Dektak OSP-1100  
2003年11月 触針式表面形状測定器 Dektak Vシリーズ  
2003年3月 ヘリウムリークディテクタ HELIOT300シリーズ  
2003年3月 ドライポンプ PDR-060CL(H),090CL(H),180C  
2002年12月 EB電源 HPS-1600  
2002年12月 触針式表面形状測定器 Dektak 3シリーズ  
2002年9月 デジタル電離真空計 GI-1000  
2002年7月 L型バルブ(AL) VLPA,VULPAシリーズ  
2002年4月 異常放電モニタ ARQUEST D-1000  
2001年9月 ターボ分子ポンプ UTM-300FWシリーズ  
2001年9月 ターボ分子ポンプ UTM-700FWシリーズ  
2001年7月 メカニカルブースタポンプ PMB-006C(M),PMB-012C(M)  
2001年5月 電離真空計 GI-D6  
2001年4月 ターボ分子ポンプ UTM-1200FWシリーズ  
2001年4月 ターボ分子ポンプ UTM-2200FWシリーズ  
2001年4月 ターボ分子ポンプ UTM-3300FWシリーズ  
2001年1月 超高真空計 GI-N7  
2000年10月 電離真空計 GI-M  
2000年10月 バリアブルリークバルブ VLP-2  
2000年7月 マスフィルタ型ガス分析計 MASSMATE-200  
2000年4月 ピラニ真空計 GP-1SSW  
2000年1月 DC電源 DCS1002B  
2000年1月 EB電源 HPS-500  
1999年12月 デジタルピラニ真空計 GP-1020  
1999年12月 ピンポイントピラニ真空計 GP-1100  
1999年11月 自動エリプソメータ ESM-1/1A  
1999年10月 オートマッチングコントローラ AMC5AR  
1999年8月 ピラニ真空計 GP-2DA  
1999年4月 水晶発振式成膜コントローラ CRTM-7000,8000  
1999年2月 触針式表面形状測定器 Dektak 8000  
1998年11月 EB電源 HPS-510L  
1998年11月 EB電源用Y軸電源 YPS-004  
1998年1月 水晶発振式成膜コントローラ CRTM-5000  
1997年12月 マスフィルタ型ガス分析計 MASSMATE-100シリーズ  
1997年12月 ドライポンプ PDR-090B  
1997年11月 DC電源 DCS0402A8  
1997年10月 触針式表面形状測定器 Dektak FPD-500,650  
1997年9月 DC電源 DCS1002C  
1997年7月 DC電源 DCS0420A6  
1997年5月 異常放電防止ユニット A2KF-50  
1997年5月 EB電源 HPS-1000C2  
1997年1月 マスフィルタ型ガス分析計 MSQ-101  
1997年1月 キャパシタンスマノメータ CCM-10000,CCMT-10000  
1996年11月 EB電源 HPS-1000C  
1996年9月 DC電源 DCS0202A  
1996年9月 DC電源 DCS0202A6  
1996年9月 DC電源 DCS0202A8  
1996年8月 EB電源 HP-510C  
1996年6月 超高真空用覗窓 TVU-FZシリーズ  
1996年5月 EB電源 HPS-1610F  
1996年5月 DC電源 DCS1002A  
1996年4月 DC電源 DCS1001A  
1996年3月 ヘリウムリークディテクタ DLMS-55 スーパーターボ  
1996年3月 EB電源 HP-1010SG  
1995年12月 ヘリウムリークディテクタ DLMS-33シリーズ(33,33A,33L,33DYS)
DLMS-55 スーパー
DLMS-SFシリーズ(SF,SF2)
DLMS-QRT,QRT/TWIN TURBO
QRT-1
 
1995年11月 超高真空計 GI-N5  
1995年11月 ドライポンプ PDR-090A,AD  
1995年11月 触針式表面形状測定器 Dektak FPD-450  
1995年10月 EB電源 HPS-1000  
1995年8月 ヘリウムリークディテクタ DLMA-TP3シリーズ(TP3,TP3E,TP3F)  
1995年6月 全金属製超高真空バルブ VUH-1001C  
1995年6月 回転導入端子 TDU-12F  
1995年6月 チタンゲッタポンプ PGT-12F  
1995年6月 アルタインシリーズ ガスケット・ボルトを除く全アルタインシリーズ  
1995年6月 ソープションポンプ PSM-10
PSM-20B
 
1995年2月 異常放電防止ユニット A2K-ASK25  
1994年6月 EB電源 HP-1010F  
1993年5月 触針式表面形状測定器 Dektak 2A,3030シリーズ  
1993年3月 高真空ゲートバルブ VAT(P)-Uシリーズ  
1992年12月 オートマッチングコントローラ AMC5DR  
1992年9月 YTPシリーズ YTP-Aシリーズ  
1992年7月 チタンゲッタポンプ用電源 GGT-1  
1992年2月 触針式表面形状測定器 Dektak 16000  
1991年10月 油回転真空ポンプ EC402,602,801  
1991年3月 ビームスイープコントローラ PSG-004  
1991年2月 EB電源 HP-1010FS  
1991年1月 EB電源 HP-510C, HP-510CIII, HPS-500, HP-1010, HP-1010B, HP-1610, HP-1610F, HPS-1600  
1990年9月 マスフィルタ型ガス分析計 MSQ-150A  
1990年6月 ターボ分子ポンプ UTM-3000シリーズ  
1990年4月 水晶発振式成膜コントローラ CRTM-1000  
1990年1月 KUO型電離真空計 GI-K  
1989年3月 油回転真空ポンプ D-330,650,950
D-330D,650D,950D
 
1984年12月 マスフィルタ型ガス分析計 MSQ-300  
1979年3月 高真空ゲートバルブ VAT-10シリーズ