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ソフトウェア

水晶発振式成膜コントローラデータ収集ソフトウェア
Depoview

Depoview

Depoviewは、アルバック製水晶発振式成膜コントローラ(CRTM)の膜厚、成膜速度、パワー、水晶振動子周波数のデータを収集するソフトウェアです。 CRTMとパソコンをRS-232C通信ケーブルでつなぎ、ロギングデータのリアルタイム表示、保存、履歴管理ができます。
Depoviewは、CRTM-9100GとCRTM-6000Gに対応しております。

装置診断システム
FABISEQ

FABISEQ

FABISEQは、プロセス装置のデータを収集、グラフ表示するソフトウェアです。装置データの見える化により、不良品が発生した原因・経緯の調査、プロセス安定性の観察を支援します。

装置診断システム
[FABISEQの特長とサンプル画面はこちら]

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