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ハイパフォーマンスプロセスガスモニタ Qulee HGM2 シリーズ

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Qulee_HGM

革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVAC の新型残留ガス分析計Qulee シリーズ(Ethernet 通信対応)のハイエンドモデル機“Qulee HGM2”です。2.5 × 10 -6A/Pa(ファラデーカップ)という高感度を実現、各種研究開発用途から真空装置のプロセス管理まであらゆるニーズに対応いたします。

特長

・各種研究開発用途に最適
・ハイエンド機能としての最高感度を実現 2.5×10-6A/Pa
・通信インターフェース
・Ethernet通信に対応
・表示部一体型の設計
・PCレスでも測定可能
・簡単操作:One Click機能(だれにでも簡単、複雑な操作は不要)
・ベーキング対応
・センサユニット接続時で最大250℃の高温ベーキングが可能(センサユニット分離状態:300℃)
・デガス機能搭載
・電子衝撃脱離方式の採用
・メンテナンス
・フィラメント、イオンソース、二次電子増倍管の交換が簡単
・予防保全機能の充実
・イオンソース、二次電子増倍管の予防保全
・分析管のトレサビリティ機能の搭載(特許第5016031号)
・リークテスト機能の充実
・ヘリウムリークテスト、エアリークテスト、ビルドアップテストが可能
・全圧測定
・全圧測定が可能(電離真空計機能)
・Qulee QCS 対応
・ソフトウェアが標準搭載(Windows 7/8/10 対応)
・適合規格
・CE標準対応

用途

・昇温脱離ガス分析など各種研究開発
・極高・超高真空排気装置等の残留ガス分析
・ガス中の微量不純物の測定
・太陽電池関連の研究開発
・有機分析
・環境測定

仕様

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