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ベーシックプロセスガスモニタ Qulee BGM2 シリーズ

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Qulee_BGM

革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計(Ethernet通信対応)です。 各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。真空蒸着装置や各種真空炉の装置管理に最適です。

特長

・コストパフォーマンス抜群
・RGA用途に最適
・通信インターフェース
・Ethernet通信に対応
・表示部一体型の設計
・PCレスでも測定可能
・簡単操作:One Click機能(だれにでも簡単、複雑な操作は不要)
・ベーキング対応
・センサユニット接続時で最大120℃の高温ベーキングが可能(センサユニット分離状態:250℃)
・デガス機能搭載
・電子衝撃脱離方式の採用
・予防保全機能の充実
・イオンソース、二次電子増倍管の予防保全
・分析管のトレサビリティ機能の搭載(特許第5016031号)
・リークテスト機能の充実
・ヘリウムリークテスト、エアリークテスト、ビルドアップテストが可能
・全圧測定
・全圧測定が可能
・Qulee QCS 対応
・ソフトウェアが標準搭載(Windows 7/8/10対応)
・適合規格
・CE標準対応

用途

・有機EL 装置の残留ガス分析
・太陽電池・FPD・半導体などの各種製造装置の残留ガス分析
・PVD 装置、真空蒸着装置など成膜装置の残留ガス分析
・巻取蒸着装置の残留ガス分析
・高真空排気装置の残留ガス分析
・凍結乾燥装置の残留ガス分析
・研究開発向け各種ガス分析

仕様

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