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Qulee with YTP

差動排気系キット付き四重極型質量分析計
Qulee with YTP

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差動排気系キット付四重極型質量分析計( Q u l e e w i t h Y T P - H )は、アルバックのQ u l e e における豊富な実績とお客様のニーズに合わせ、機能の充実と使いやすさを実現しました。各種真空装置のプロセス管理や残留ガス分析からR & D まで幅広く活用いただけます。

特長

  • コストパフォーマンス抜群 差動排気系付のためプロセスモニタリングから残留ガス分析(RGA)までを1台で対応可能
  • コンパクト設計 標準排気ユニットDesktop YTPを採用したコンパクト設計
  • 表示部一体型の設計 PCレスでも測定可能
  • 簡単操作 One Click機能(だれにでも簡単、複雑な操作は不要)
  • 大気圧分析も可能 大気圧分析も含め、3000Pa、500Pa、100Pa、10Pa、1Paで のモニタリングが可能な仕様を準備
  • 用途に応じた機種選定が可能 質量数1 ~ 100(BGM2-101/102)、1 ~ 200(BGM2-201/202)、 1 ~ 300(HGM2-302)から選択可能
  • 低騒音: 運転音が43dB(A)以下の低音設計
  • 真空計の専用表示器が不要: 真空計の信号を取り込み操作画面への表示が可能(真空計はオプ ション)
  • リークテスト機能の充実 ヘリウムリークテスト、エアリークテスト、ビルドアップテストが可能
  • Ethernet対応Qulee QCS(Ver.4) 付属 ソフトウェアが標準搭載(Windows 7/8/10)

用途

  • 研究開発用途向け各種ガス分析
  • スパッタリング装置、真空蒸着装置などのプロセス中のガスモ ニタ
  • スパッタリング装置、真空蒸着装置などの残留ガス分析
  • 高真空排気装置の残留ガス分析
  • 真空浸炭炉のエンドポイントおよび酸素濃度の確認
  • 凍結乾燥装置の乾燥ポイントおよび不純物の確認

仕様

データダウンロード

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