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ハイパフォーマンスプロセスガスモニタ
Qulee HGMシリーズ

残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・Quleeシリーズ
ハイパフォーマンスプロセスガスモニタ
Qulee HGMシリーズ

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QuleeHGM

革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの残留ガス分析計Quleeシリーズのハイエンドモデル機"Qulee HGM"です。
2.5×10-6 A/Pa(ファラデーカップ)という高感度を実現、各種研究開発用途から真空装置のプロセス管理まであらゆるニーズに対応いたします。

特長

  • ハイエンド機能としての高感度を実現:2.5x10-6A/Pa
  • 表示部一体型の設計:PCレスでも測定可能
  • One Click機能(だれにでも簡単、複雑な操作は不要)
  • センサユニット接続時で最大250ºCの高温ベーキングが可能
    (センサユニット分離状態:300ºC)
  • 電子衝撃脱離方式の採用
  • フィラメント、イオンソース、二次電子倍増管の交換が簡単
  • イオンソース、二次電子倍増管の予防保全、分析管のトレーサビリティ機能の搭載(特許出願中)
  • ヘリウムリークテスト、エアリークテスト、ビルトアップテストが可能
  • 全圧測定が可能(電離真空計機能)
  • ソフトウエアQulee QCSが標準搭載(Windows XP/7対応)
  • CE標準対応

用途

  • 昇温脱離ガス分析など各種研究開発
  • 極高・超高真空排気装置等の残留ガス分析
  • ガス中の微量不純物の測定
  • 太陽電池関連の研究開発
  • 有機分析
  • 環境測定

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