Top > コンポーネント > ガス分析計(プロセスガスモニタ) > 残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・Quleeシリーズ
ベーシックプロセスガスモニタ
Qulee BGMシリーズ

残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・Quleeシリーズ
ベーシックプロセスガスモニタ
Qulee BGMシリーズ

For more Information

QuleeBGM

革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計(RGA)です。各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。真空蒸着装置や各種真空炉の装置管理に最適です。

特長

  • 表示部一体型の設計・・・パソコンレスでも測定可能
  • 簡単操作 −One Click 機能・・・だれにでも簡単。複雑な操作は不要
  • リークテスト機能の充実
  • 全圧測定が可能
  • Qulee QCSソフトウエアが標準搭載
  • CE標準対応

用途

  • 真空蒸着装置やスパッタリング装置などの成膜装置の残留ガス分析
  • 高真空排気装置の残留ガス分析
  • 凍結乾燥装置の残留ガス分析
  • 研究開発向け各種ガス分析

仕様

分解能M/△M=1M(10% P.H.)

型式 BGM-101 BGM-201 BGM-102 BGM-202
質量分離方式 四重極型質量分析計
質量数範囲 1〜100 amu 1〜200 amu 1〜100 amu 1〜200 amu
検出器 ファラデーカップ 二次電子増倍管
ファラデーカップ
感度 10-7A/Pa 4A/Pa
最小検知分圧 10-8Pa 10-12Pa
最大使用圧力 1x10-2Pa
全圧測定機能 あり
One Click機能 あり/He/H2O/N2/O2/Any gas
One Clickリークチェック機能 あり
電源電圧 DC24V±10% 50W
最大ベーキング
可能温度
(センサユニット接続時)
120℃
最大ベーキング
可能温度
(センサユニット脱着時)
250℃
使用温度範囲 10〜40℃
ソフトウェア Qulee QCS Ver3.0以降(Windows XP/7対応)
適合規格 CE

データダウンロード

カタログ、図面、I/Oデータのダウンロードには「ユーザー登録(無料)」が必要です。ユーザー登録がまだの方はユーザー登録ページよりご登録いただきますようお願いいたします。

すでにユーザー登録がお済みの方はこちらからログインしてください。

For more Information