Top > コンポーネント > ガス分析計(プロセスガスモニタ) >

ガス分析計(プロセスガスモニタ)

アルバックの残留ガス分析(プロセスガスモニタ)は、シンプルさと使いやすさを実現しました。各種真空装置用(真空蒸着装置、スパッタリング装置、真空炉)や研究開発用など用途別にラインアップしています。

ガス分析計用ソフトウェア
Qulee QCS

quleeqcs

“Qulee QCS”は、アルバックの残留ガス分析計/プロセスガスモニタに対応したソフトウエアです。当ソフトウェアは、ULVAC製のほとんどのガス分析計に対応しており、 簡単なクリック操作で、誰もが測定・データ保存できます。

差動排気系キット付き四重極型質量分析計
Qulee with YTP

Quadurupole Mass Spectrometer with Differential Pumping Kit Qulee with YTP

差動排気系キット付き四重極型質量分析計(Qulee with YTP)は、アルバックのQuleeにおける豊富な実績とお客様のニーズに合わせ、機能の充実と使いやすさを実現しました。 各種真空装置のプロセス管理や残留ガス分析からR&Dまで幅広く活用いただけます。

リアクティブプロセスガスモニタ
Qulee RGM-202 / RGM-302

quleergm

リアクティブプロセスガスモニタ Qulee RGM-202/RGM-302は、Quleeシリーズのエッチング、CVD等の反応性プロセスに対応した差動排気系付きプロセスモニタです。アルバック独自のイオン源、排気系構造により、反応性のガスに対し耐蝕性に優れ、長時間安定した測定が可能です。

残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・Quleeシリーズ
コンパクトプロセスガスモニタ
Qulee CGMシリーズ

QuleeCGM

高圧下(1Pa以下)での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計/プロセスガスモニタ(RGA)です。各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。スパッタリング装置のプロセス管理(品質向上、歩留まり向上)に最適です。

 

残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・Quleeシリーズ
ベーシックプロセスガスモニタ
Qulee BGMシリーズ

QuleeBGM

革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計(RGA)です。各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。真空蒸着装置や各種真空炉の装置管理に最適です。

残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・Quleeシリーズ
ハイパフォーマンスプロセスガスモニタ
Qulee HGMシリーズ

QuleeHGM

革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの残留ガス分析計Quleeシリーズのハイエンドモデル機"Qulee HGM"です。
2.5×10-6 A/Pa(ファラデーカップ)という高感度を実現、各種研究開発用途から真空装置のプロセス管理まであらゆるニーズに対応いたします。

▲Return to Top