光学用EBガン
EGP-1G

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EGP-1G

EGP-1Gは、構造のシンプルな180ºビーム偏向方式を採用することによりコストを抑えた光学膜蒸着用電子ビーム蒸発源です。

特長

  • 180ºビーム偏向方式を採用することにより低コスト
  • メンテナンス時に着脱する部品はすべて2面位置決め構造
  • フィラメント交換、エミッタの脱着が容易な構造

用途

  • 電子ビーム蒸着用蒸発源

仕様

型式 EGP-1G
電子ビーム偏向角度 180º
冷却水量 10L/min
外形寸法 W×D×H 185mm×239mm×179mm (突起部含まず)
重量 11kg

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