Top > コンポーネント > 成膜用電源+オプション > EBガン >

EBガン

光学用EBガン
EGP-1G

EGP-1G

EGP-1Gは、構造のシンプルな180ºビーム偏向方式を採用することによりコストを抑えた光学膜蒸着用電子ビーム蒸発源です。

金属蒸着用EBガン
EGNシリーズ

EGN-406M

EGNシリーズは、新たにメンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。フラットトップ構造および15mmハースデッキの採用により、電子ビーム蒸発源への着膜面積が少なくなり、高いメンテナンス性を実現しております。

蒸発用EBガン
EGK/EGL/EGOシリーズ

EGL-35M

アルバックの電子ビーム蒸着用EBガンは、すべて磁場偏向を使用しています。 また、蒸発材料からの汚染を極力防ぐ構造となっています。 ラインアップは、小容量の実験用途に向くEGKシリーズから、金属用の生産に向くEGLシリーズ、光学用のEGOシリーズと幅広く揃っています。

▲Return to Top